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第 5 章 电 感 式 传 感 器 五、 变磁阻式传感器的应用 5.2.3 零点残余电压 1、变压器工艺上采取措施 5.2.4 测量电路 5.2.5 差动变压器式传感器应用 5.3 电涡流式传感器 一 电涡流效应 二、 等效电路分析 三、 涡流的强度和分布 四、 测量电路 五、 电涡流传感器的应用 机械振动测量含有幅值、相位和频率的信息。 旋转机械的运动状态主要取决于核心—转轴,而电涡流传感器能直接非接触测量转轴的状态,对诸如转子的不平衡、不对中、轴承磨损、轴裂纹及发生摩擦等机械问题的早期判定,可提供关键的信息。 2.压差计 当压差变化时,腔内膜片位移使差动变压器次级电压发生变化,输出与位移成正比,与压差成正比。 3.液位测量 沉筒式液位计将水位变化 转换成位移变化,再转换 为电感的变化,差动变压器 的输出反映液位高低。 电涡流传感器是一种非接触式的线性化计量工具,在大型 旋转机械状态的在线监测与故障诊断中得到广泛应用。 电涡流传感器能准确测量被测体(必须是金属导体)与探 头端面之间静态和动态的相对位移变化。 电涡流式传感器最大的特点:能够对位移、厚度、表面温 度、速度、应力、材料损伤等被测量进行非接触式测量。 电涡流传感器目前主要应用于位移、振动、转速、厚度等 机械量测量,另外可测材料、测温度和电涡流探伤。 定义:由法拉第电磁感应原理可知,一个块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作用切割磁力线运动时,导体内部会产生一圈圈闭和的电流,这种电流叫电涡流,这种现象叫做电涡流效应, 根据电涡流效应制作的传感器称电涡流传感器。 H2 I2 形成电涡流必须具备的两个条件: ① 存在交变磁场 ② 金属导体处于交变磁场中 金属导体 UAC 把一个扁平线圈置于金属导体附近,当线圈中通以交变电流 I1时,线圈周围空间产生交变磁场H1,当金属导体靠近交变磁场中时,导体内部就会产生涡流I2,按照楞次定律,这个涡流总是企图抵消原磁场的变化,产生反抗H1的交变磁场H2。 涡流线圈结构非常简单,但要定量分析是很困难的,可根据实际情况建立一个模型,求出模型的等效电路参数。 根据涡流的分布,把涡流所在范围近似看成一个单匝短路的次级线圈。线圈远离被测体时,相当次级开路,原线圈阻抗为 当线圈靠近金属导体时,初次级线圈通过互感相互作用 回路方程: 次级 初级 等效电感 解方程得到金属靠近后传感器(初级线圈)的等效阻抗 等效电阻 凡是引起次级线圈回路变化的物理量R2 、L2 、M均可以引起传感器线圈等效R1 、L1的变化。 M L2 R2 R1 L1 讨论: 显然, 通过涡流效应和磁效应,线圈阻抗 Z=F(ρ, μ, w, d, x) 结论: 涡流线圈的等效阻抗与被测金属中各种参数有函数关系。 若控制某些参数不变,只改变其中一个参数,可使初级阻抗 Z1成为这个参数的单值函数。 应用广泛: 位移、厚度、振动 表面温度、电解质浓度 应力、硬度 材料损伤等 x ρ μ ρ, μ, x 因为金属存在趋肤效应,电涡流只存在于金属导体的表面薄层内,存在一个涡流区,涡流区内各处的涡流密度不同,存在径向分布和轴向分布。 金属 扁平线圈 涡流区 r/ros 1 h ros j 径向分布 2ros 线圈外径确定后,涡流范围也就确定了。 r = ro s 线圈外径处,金属涡流密度最大; r = 0 线圈中心处,涡流密度为零 ( j = 0 ) ; r 0.4ros 处(以内)基本没有涡流; r = 1.8ros 线圈外径处,涡流密度衰减到最大值的5%。 涡流范围与电涡流线圈的外径有一固定比例关系, 涡流密度最大值在线圈外径附近一个狭窄区域内 1.涡流的分布 轴向分布 由于趋肤效应涡流只在表面薄层存在,沿磁场H方向(轴向)也是分布不均匀的。距离金属表面Z处,涡流按指数规律衰减 j0 —— Z = 0 处金属表面涡流密度(最大) jz —— 金属表面距离Z 处的涡流 h —— 趋肤深度 h z 金属 扁平线圈 j D R r 按照电涡流在导体内的贯穿情况 分为高频反射式和低频透射式两类 2.强度 当线圈与被测体距离改变时,电涡流密度发生变化,强度也要变化。根据线圈-导体系统,金属表面电涡流强度I2与距离x是非线性关系,随 x/ros上升而下降。 I1为线圈激励电流,I2 为金属导体中的等效电流(涡流) x = 0 处,I2 = I1;x/ros= 1,I2 = 0.3I1, I2 只有在 x/ros 1 才能有较好的线性和灵敏度(测微位移) 当 x ros时
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