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第2章 MEMS设计中的尺度效应 尺度的基本概念 刚体动力学中的尺度 静电力中的尺度 电磁力中的尺度 电学尺度问题 流体力学的尺度问题 热传递的尺度问题 尺度问题的基本意义 本章介绍尺度的目的在于提供一些可供选择的尺度规律，使设计者意识到缩小机器和器件尺度所带来的物理后果；并使其明白，一些微型化在物理上是行不通的，或者在经济上是没有意义的。 用于微系统的设计尺度规律 第一种规律是严格依据物体的尺寸，如几何结构的尺度。这类物体的行为由物理定律所决定。 第二种尺度规律涉及微系统的现象行为尺度，考虑到系统的尺寸和材料特性。 微系统设计中常涉及的物理量： 体积 表面积 体积与器件的质量和重量有关 表面特性与流体力学中的压力和浮力有关,与对流热传导中固体热吸收和耗散有关 在一个尺度减小的过程中，同等地减小一个物体的体积和表面积是不可能实现的。 下图是一个实心长方体的例子。abc，体积V=abc，表面积S=2×(ac+bc+ab)。如果l 代表一个固体的线性因次，那么体积V∝l3 ，表面积S∝l2 ，可得 例题6-1 计算当尺寸减小50％的情况下转动微镜所需扭矩的减小量。镜的安装和尺寸如图6-3所示。 解： 沿y-y轴转动微镜所需的扭矩与微镜的质量惯性矩Iyy有关，表达式为： 当尺寸减小50％时，镜子的惯性质量矩为： 2. 刚体动力学中的尺度 动力中的尺度 Trimmer力尺度向量 (1)动力中的尺度 刚体从一位置运动到另一位置，运动的距离s∝l， 此处l代表线性尺度。速度v=s/t，因此v∝(l)t-1，其中 t为运动的时间。 因此，根据质点运动学，可得 令v0＝0，由式(6.3)可得加速度 (2) Trimmer力尺度向量 Trimmer提出一个代表力尺度的矩阵（通称为力尺度向量F ），这个矩阵与描述系统运动尺度的加速度a、时间 t 和功率密度 P/V0 等参数有密切关系。 力尺度向量定义为 根据上式可得 加速度a 功率密度P/V0 由上列一系列的公式，可得出一系列的刚体动力 学的尺度效应，如表所示。 例题6-2 当MEMS器件减小10倍时，计算加速度a，时间t和驱动能源的相应变化。 解： 已知重量 ： W∝ l 3 意味表6.1中的三阶。从表格中可得： 1）加速度没有减小(l0) 2）完成运动的时间减小(l)0.5=(10)0.5=3.16 3）功率密度将减小(l)0.5=3.16。功耗的减小为P=3.16V0。由于器件的体积减小10倍，在尺寸缩小后功耗将减小P=3.16/10=0.3倍。 3.静电力中的尺度 静电势能的尺度规律 静电力的尺度规律 (1)研究静电势能的尺度规律 如图6-4的平行板电势能为 根据Paschen效应，平行板的击穿电压V随两平板 的间隙变化而变化。该效应如图6-5所示。 从图6.5可知： 当d5μm时，随间隙增加电压V急剧下降 当d5μm时， V下降趋势明显减缓 当d≈10μm时，电压的变化改变方向 当d10μm时，随间隙增加电压成线性增加 当工作范围d10μm时，可知所加的电压V∝d， ε0、εr∝l 0 。可把式（2-7）中静电势能的尺度 表达为 (2)研究静电力的尺度规律 第二章介绍，在平行板排列的三个方向上可产生静电力。这些力的表达式如下： 例题6-3 如图6.6所示，如果平行板的长L和宽W都减小10倍，求一对平行板电极产生的静电力的减小。 解： 当平板电极没充电时保持间隙为d。因此，由静电力分量的表达式，可得出各自的静电力分量： 法向力分量Fd∝l2 　　沿宽度方向的力分量FW∝l2 　　沿长度方向的力分量FL∝l2 即，静电力在三个方向上减小(10)2=100倍 4.电磁力的尺度 本节主要介绍电磁力的尺度问题，解释为什么大部分的微马达和致动器都采用静电驱动，尽管在大多数宏观机器中主要采用电磁力驱动。 原因： 电磁力不象静电力那样容易按比例缩小 微器件中没有足够的空间容纳一定的线圈来产 生足够的驱动磁场 电动势是驱动电子通过导体的力 驱动电荷的能量可表示为 将上式带入驱动电荷能量表达式，且Q=it，可得 恒定电流流动情况，则电磁力表示为 5.电学中的尺度 电是MEMS和微系统的主要能源 电主要应用在许多微系统的静电、压电、热阻加热驱动上 电在微系统中的应用 电动力泵 机电转换 电的尺度规律是一个很重要的设计问题 从物理规律得出电的尺度规律： 由电阻功率损失的表达式可知，由于材料的电阻引起的功率损失服从一阶定律，即P∝l1 对一个带有电源的系统，可获得的电源与系统的体积直接有