精选课件纯水.ppt

各个系统的作用 1、多层式过滤器 主要去除水中的铁离子、胶质、悬浮固体、浊度及氯离子。 原水水质中所含的大颗粒杂质主要为不溶解性的悬浮固体物，及由腐植质造成的长链型有机污 染等，另外原水为自来水时水中所含的氯离子等，为确保逆渗透系统能长时间正常运转并尽量 避免堵塞所造成的困扰，利用简单、便于操作且有效的处理单元做为系统的最前端是最恰当的 设计方式。 2、活性碳过滤器 主要是用来除去水中的有机物和残余氯，也能除去水中的臭味，色度等。通常，活 性碳选用优质的果壳或椰壳类，确保机械强度好且吸附速度快，吸附容量大。 7、RO 系统 反渗透主要是将溶剂（通常为水）和溶剂中离子范围的溶质分离，反渗透法由于分离过程不需 要加热，消耗能力少，设备体积小，操作简单，而且很经济；并且反渗透膜具有较高的透水速 度和脱盐性能。RO 膜组通过 PLC 自动控制每天自动运行。 RO 进水，出水电导率显示在控 制盘中， RO 透水率大概为 75%，RO 除盐率大概为 98%，是脱盐系统的核心 8、真空脱气膜 脱气膜广泛地用于从 水中除氧 和其他液体除氧。氧气 O2 对很多任务艺过程有负面影响；氧 气会腐蚀和氧化材料。脱气膜提供了一种无需化学品添加和大型脱气塔的易于操作，模块化的 水中脱氧方法。 9、TOC UV 以波长 185 nm 之 TOC 紫外线杀菌灯，分解水中部份长炼键有机物，使其成为短键的有机 酸以利后面之 MB 树脂塔加以去除，确保 TOC 要求数值。 10、MB 塔 混床是将阴阳树脂按一定比例装置填在同一交换器中，运行前将它们混合均匀。RO 产水进入 MB 混床，用阳树脂交换 Na +等；用阴树脂交换 HCO 3 -等。混床出水电导率小于 0.1-0.2us/cm。 当混床树脂失效时，电导率会升高，则需要先分离，然后分别对阳，阴树脂进行再生，清洗， 恢复他们的交换能耐并均匀混合再运行。混床采用全自动控制，24 小时运行。不会受再生影响 供水，去离子水进入纯水箱，用高纯度 N2 密封水箱，避免外面空气进入，造成水质的污染。 管路Loop的设计 根据整个FAB各User分布，UPW通过Loop送到各区域。管径应根据各区域用量进行计算。每个Loop和机台的Take-off点都必须设supply和return。整各Loop的循环水量必须大于20%，防止细菌的滋生。 Loop供水和回水应安装流量计，两者之差即为该区域的用量。UF出口压力为0.5~0.6Mpa，Loop压力通过机械压力调节阀开度来控制。Loop供应压力通常控制在0.4Mpa左右。每个Loop的回水应设电阻率仪，Loop回水的电阻率小于15MΩ.cm切去前处理。回水总管设TOC仪，如有回水出现异常状况可手动切去前处理或废水处理系统。 PVDF管的优点 PVDF是聚偏二氟乙烯管子。 具有优越的电性能、优越的耐药性、优越的耐高、低温性、优越的不粘性。突出特点是机械强度高，耐辐照性好，具有良好的化学稳定性，在制品的表面硬度、机械强渡、抗变形性等方面优于聚四氟乙烯。 谢谢！ * * UPW System Introduction 什么是超纯水 超纯水是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，25℃时，电阻率为10MΩ·cm以上，通常接近18MΩ·cm，必须经膜过滤与混合床等终端精处理的水。理论上超纯水的电阻率可以达到 18.24兆欧。 从原水到超纯水，靠单一的方法是无法达到的，需要充分利用各种方法的优势，综合利用共同作用，才能达到经济有效的制造超纯水。 原水的水质： 超纯水的水质要求： 各种处理方法的比较： 原水水质要求 超纯水水质要求 处理方法比较 return 原水水质的要求 0.2-0.5 mg/L Residual Chlorine 剩余氯 5.0 mg/L Silica(Reactive) 活性硅 10 CFU/ml Bacteria 细菌 16.5 ppm as CaCO3 Total hardness总硬度 8.71 mg/L@22°C DO溶氧* 12 mg/L P-Alkalinity（酚酞碱度） 1.5 NTU Turbidity 浊度 3.0* mgC/L TOC 总有机碳 20 ~31 °C Temperature 温度 100 mg/L Total Dissolved Solids（溶解固体） 100-150 ?S/cm at 25°C Conductivity电导率 6.2 - 7 - pH va