模具表面处理技术解析.pptVIP

第四节 模具表面的气相沉积技术 气相沉积技术 是将含有沉积元素的气相物质输送到工件表面，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层的工艺方法。 ?气相沉积在工件表面覆盖一层厚度为0.5-10um的过渡族元素（Ti,V,Cr,W,Nb等)的碳、氧、氮、硼化合物或单一的金属及非金属涂层。 按沉积的主要属性可分为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD），等离子体被引入化学气体沉积技术后，便形成等离子化学气相沉积（PCVD）。 气相沉积的特点 1、工件表面具有较高的硬度（如TiC的硬度为3200-4100HV，TiN的硬度为2450HV ），低的摩擦系数和自润滑性； 2、高的熔点（ TiC的熔点为3160℃，TiN的熔点为2950℃ ），高的化学稳定性及抗粘结能力； 3、高的耐腐蚀能力和抗高温氧化能力。 一、化学气相沉积 化学气相沉积是利用气态物质在一定温度在工件表面上进行化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，形成固体沉积膜的的工艺技术。 化学气相沉积通常称为CVD（Chemical vapor deposition的简称）。 CVD技术是一种热化学反应过程，是在特定的温度下，对经过特别处理的零件（包括硬质合金和工具钢）所进行的气态化学反应，即利用含有膜层中各元素的挥发性化合物或单质蒸汽，在热基体表面发生气相化学反应，反应产物沉积形成涂层的一种表面处理技术。 CVD技术可用于各种金属成形模具和挤压模具。 一般情况下，经过处理的零件具有很好的耐磨性能、抗高温氧化性能和耐腐蚀性能。 CVD技术也被广泛应用于各种硬质合金刀片和冲头。但是，由于CVD是一个高温过程，对于大多数的钢质零件，在CVD涂层后要进行再次热处理。 CVD技术的分类 按照沉积化学反应能量激活分，可分为热CVD技术、等离子化学气相沉积技术（PCVD）、激光辅助化学气相沉积技术（LCVD）和金属有机化合物沉积（MOCVD）等。 　　 CVD技术特点 （1）涂层材料具有极高的韧性，硬度可高达HV2500～3800，抗氧化温度可达900℃以上。 （2）可同时进行技术处理的工件数量大，可大幅提高模具制造效率。 （3） 绕镀性好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件及带有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工件。在高温处理反应器内无需旋转零件。 （4）无论是具有复杂几何形状或者有内孔的零件，都可以实现高度均匀的涂层厚度。 CVD技术的缺点 处理温度较高，气氛中含氯化氢多，如处理不当，易污染大气。 为克服上述缺点，用氩气作载体，发展中温CVD法，处理温度750～850℃即可。此法在耐磨性、耐蚀性方面不亚于高温CVD法。 模具表面处理--CVD技术 化学气相沉积的应用 CVD处理的模具形状不受任何限制。CVD可以在含碳量大于0.8%的工具钢、渗碳钢、高速钢、轴承钢、铸铁以及硬质合金等表面上进行。 气相沉积TiC、TiN能应用于挤压模、落料模和弯曲模，也适用于粉末成型模和塑料模等。在金属模具上涂覆TiC、TiN覆层的工艺，其覆层硬度高达3000HV，且耐磨性好、抗摩擦性能提高、冲模的使用寿命可提高1～4倍。其中CVD涂层技术具有更卓越的抗高温氧化性能和强大的涂层结合力，在高速钢切边模、挤压模上应用效果良好。 美国将CVD用于紧固件模具，提高寿命3一5倍；用CVD技术来沉积TiC和TiN于拉深凹模，提高寿命8倍。 目前模具表面处理中应用较多的是铝型材挤压模具和精密叶片热锻模具，经过处理后，有较好的耐磨性和抗疲劳性，使用寿命提高一倍，由原来2.5t的通料量提高到5t。现在CVD技术发展是以等离子体、电子束、激光束、离子束、微波等先进科学技术的成就为基础，向着高效、节能、控制高度自动化、精确化的方向发展。 二、物理气相沉积 　　 物理气相沉积是用物理方法把欲涂覆的物质沉积在工件表面形成膜的过程。是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。 物理气相沉积通常称为PVD（Physical vapor deposition的简称）。 物理气相沉积技术，由于处理温度低，热畸变小，无公害，容易获得超硬层，涂层均匀等特点，应用于精密模具表面强化处理，显示出良好的应用效果。 物理气相沉积适用范围广泛，几乎所有材料的薄膜都可以用物理气相沉积来制备，但是薄膜厚度的均匀性是物理气相