化合物半导体讲义全解.doc

化合物半导体讲义 上海大学材料学院 2012/11/20  目 录 第一章 绪 论 4 1.1半导体材料的发展历史 4 1.1.1什么是半导体材料? 4 1.1.2半导体材料的早期应用 4 1.1.3硅单晶及其外延 5 1.1.4硅微电子技术 6 1.1.5GaAs和InP单晶材料 6 1.1.6宽带隙半导体材料 6 1.1.7低维半导体材料 7 1.2信息技术对半导体材料的要求 7 1.3化合物半导体材料的应用 8 1.4半导体材料的分类 8 1.4.1元素半导体 9 1.4.2化合物半导体 10 1.4.3半导体固溶体 11 1.5化合物半导体材料特性 11 1.5.1晶格结构 11 1.5.2晶体的化学键和极化 13 1.5.3施主和受主能级 18 1.5.4迁移率 19 1.6化合物半导体器件的发展方向 22 1.7课程教学目的和要求 22 课外要求(文献阅读和习题) 22 第二章 化合物半导体中的杂质和缺陷 23 2.1有关固体中缺陷的一些基本概念 23 2.1.1缺陷的分类 23 2.1.2缺陷的表示符号 24 2.1.3本征缺陷 25 2.1.4杂质缺陷 26 2.1.5电子和空穴 27 2.1.6点缺陷的局域能级 29 2.1.7缺陷的缔合 31 2.1.8价键和点缺陷 32 2.2化合物半导体中常见杂质