ATM模块检测原理及其校正方法.pptVIP

目录 一、ATM机组成结构 二、各模块工作原理及操作软件介绍 三、模块校正方法 四、各模块常见异常及处理方法 一、ATM组成结构 上料机（Loader） 硅片检测单元 （wafer inspect unit ） 分选机（Sorter） 尺寸大小GEOMETRY 隐裂MICROCRACK 少子寿命LIFETIME 外观检测(上) OWI 1 电阻率RESISTIVITY 外观检测(下) OWI 2 TTV 尺寸大小GEOMETRY 隐裂MICROCRACK 少子寿命LIFETIME 外观检测(上) OWI 1 电阻率RESISTIVITY TTV 外观检测(下) OWI 2 1、检测单元各模块实物图示 2、各模块操作软件界面介绍 主要检测参数： (1)边长；（2）边缘正交性；（3）倒角；（4）倒角长度；（5）对角线长度 图-a 尺寸模块GEOMETRY 图-b、隐裂模块MICROCRACK 主要检测参数： (1)暗裂纹；（2）穿孔 图-c 少子寿命模块LIFETIME 主要检测参数： (1)脏污；（2）崩边； 图-d 外观模块OWI 图- e 电阻率RESISTIVITY 三、各模块校正方法 1、尺寸大小GEOMETRY校正 测量值实际值 下调 测量值实际值 上调 边长偏差范围： 156±0.5 对角线偏差范围： 219 ±1.5 单位：