表面合金化原理.docVIP

表面工程概论实践教学内容 1. 等离子表面冶金炉 1）结构特点 该设备抽气系统设置机械泵和扩散泵。根据工作要求，炉内可获得低真空和中高真空。在炉壁设置一弧靶，从炉底引入两阴极柱。当系统抽到高真空时，利用弧靶和一个阴极靶（弧靶提供金属离子，阴极上悬挂工件），可以实现在金属工件上镀金属膜层、镀金属化合物膜层。当系统抽到初、中真空时，利用弧靶和一个阴极靶，可以进行弧光辉光渗金属。利用两个阴极靶，一个阴极靶悬挂欲渗金属，另一个阴极靶悬挂工件，进行双层辉光离子渗金属。本设备实现弧光、辉光渗金属技术的复合。 2)表面合金化原理及设备功能 一、表面合金化原理 双层辉光渗金属技术 双层辉光离子渗金属技术是利用真空条件下双层辉光放电所产生的低温等离子体而形成的一种等离子表面冶金方法。其主要功能是在可导电材料表面形成具有特殊物理化学性能的合金层。例如在普通碳钢表面形成高速钢、不锈钢和镍基合金等。在钛及钛合金表面形成各种耐磨、耐蚀、抗高温氧化的合金层和在金属材料表面形成高硬耐磨的金属陶瓷复合层等。 双层辉光离子渗金属原理图。抽真空至1Pa左右后，充Ar气至30-50Pa，阴极（即工件）置400-500V负偏压，欲渗金属极（称为源极）置800-1000V负偏压。在偏压的作用下，气体被点燃，产生强烈的辉光放电，在阴极和源极之间产生不等电位空心阴极效应，使得工件被迅速加热到高温，使的欲渗金属原子被溅射出来，沉积到工件表面，在高温下，在工件表面沉积原子浓度梯度的作用下，原子通过扩散，进入工件表层，形成表面合金层。图4给出利用双层辉光离子渗金属技术在普通碳钢表面获得渗铬层，使得普通碳钢变为表面不锈钢，获得优良的耐蚀性。 加弧辉光离子渗金属技术 加弧辉光离子渗金属原理。其特征是在双层辉光离子渗金属装置中，引入冷阴极电弧源，把辉光放电和弧光放电有机的结合起来，在被处理工件周围设置辅助阴极，利用辉光放电空心阴极效应使工件迅速升温。本设备同时在真空容器壁上设置一个金属阴极电弧靶源，利用真空电弧放电引燃电弧源，不断地发射出高能量、高密度、高离化率的欲渗金属离子流，在工件负偏压的作用下加速到达工件表面。依靠扩散和离子轰击作用快速渗入工件表面，在工件表面可以形成渗层、镀层、渗镀结合层。 二、功能： 利用双层辉光离子渗金属技术，在金属材料表面可渗入特定的合金元素，包括几乎所有的高熔点金属，如W、Mo、Cr、Ni等，可大幅度提高材料表面的耐磨、耐腐蚀性能；强化材料表面，提高抗疲劳性能；提高材料的抗高温氧化性能；同时也可生成具有特殊功能的合金层。用石墨作源极，可在钛合金表面实现无氢渗碳，提高钛合金的耐磨性。双层辉光离子渗金属技术具有节约贵金属，节省能源、无公害，并可大面积处理及表面合金成份可控等显著优点。已成功地应用于手用锯条，机用锯条，大型钢板，化工用阀门及液体泵，钢窗附件以及汽车排气阀等。是一项有广阔应用前景的表面工程技术。利用双层辉光渗金属技术生产的表面高速钢手用锯条，此锯条具有国外双金属锯条相近的性能，而成本仅为双金属锯条的一半。 利用加弧辉光离子渗金属技术，同样可在金属表面实现特定金属、非金属元素的渗入，提高材料表面的耐磨、耐腐蚀性能、抗疲劳性能；与双辉渗相比，具有一些特点： 1．渗速极快，平均值为300~700μm/h； 2．工件形状不受限制，可以在炉内任意放置； 3．工件可以转动，能实现均匀渗镀； 4．不仅可以渗镀高熔点的金属和合金如Ti,Mo,Cr,Ni,Cr-Ni,W-Mo等，还可以渗镀低熔点的金属和合金Al,Zn,Pb,Al合金等； 2 多功能离子镀膜机 结构特点 该设备的真空抽气系统由机械泵、罗兹泵和扩散泵组成，用于获得高真空。炉壁设置4个弧靶和2个磁控靶。该设备可用于多弧离子镀膜和磁控溅射镀膜，也可以同时工作，用途极为广泛。 镀膜原理与设备功能 一、镀膜原理 多弧离子镀膜原理 多弧离子镀技术是采用阴极电弧蒸发源的一种离子镀技术。阴极电弧蒸发源可以使Ti、Al、Zr、Cr等单项靶材，也可以是由它们组成的合金靶材。多弧离子镀应用面广，实用性强。除了具有其他各种离子镀方法的广泛用途外，特别是在高速钢刀具镀覆TiN膜层的应用方面发展的最为迅速，并进入了工业化阶段。多弧离子镀的基本组成包括真空镀膜室、阴极弧源、基片、负偏压电源、真空系统等。阴极弧源是多弧离子镀的核心，它所产生的金属等离子体自动维持阴极和镀膜室之间的弧光放电。微小弧斑在阴极靶面迅速徘徊，弧斑的电流密度很大，达到105-107A/cm2，电压为-20V左右。由于微弧能量密度非常大，弧斑发射金属蒸汽流的速度可以达到103m/s。阴极靶本身既是蒸发源，又是离化源。外加磁场可以改变阴极弧斑在极靶面的移动速度，并使弧斑均匀、细化，以达到阴极靶面的均匀烧蚀，延长靶的使用寿命。工件加500