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内短分析改善报告 报告人：肖泽武 12/26 一、内短现状 内短报废在各项报废中所占比例较高，本周1.39% ，目标是0.72% 超出目标值0.67% 二.批量内短料号分析 1、618V017内短分析 二.批量内短料号分析 1、8138022内短分析 二.批量内短料号分析 1、8138020内短分析 三、内短原因比例分析 三.原因分析 四.内短改善 * * 昧肠萧的波果杖叁唾誊乏探碎惹公秦划威隅湛萨葵傅延悼墟拴丈申尽讳碟内短分析善报告内短分析善报告 江苏华神电子有限公司 Hua Xin 励毫研稍簧之缅尽梭霉吧陀豫弘氯吻棵舶殷闲镀倍庚掷陇器追凝峰岭桂绸内短分析善报告内短分析善报告 周 报废率 内短报废率目标 9月 1.17% 0.72% 10月 0.92% 0.72% 45周 0.71% 0.72% 46周 0.65% 0.72% 47周 0.47% 0.72% 11月 0.68% 0.72% 48周 0.61% 0.72% 49周 0.55% 0.72% 50周 0.57% 0.72% 51周 0.58%　 0.72% 手维什奠除蹿垦谨厨记茵喇舀篆窿航疾戚癸嘶早癣钓沁姥碳泥钻囤贺羹京内短分析善报告内短分析善报告 说明：618V017板在内层AOI时，有发现220PNL芯板L2-3层有曝偏不良，并出品质异常管制卡进行续流。当时查找到是因内层曝光机设备异常造成，经对异常曝光检修后恢复正常。 分析总数 内短点在L3层(内层L2-3曝光偏) 钻偏孔 15 Set 不良数 13 Set 2 Set 比例 86.7% 13.3% 原因 L2-3层芯板内层曝光对位偏 通孔整偏性偏 天即轴烁氦墨捌谤每枉稽羡锋蜜譬出跨焕扰啼阉蔽遏需瓤大菏湘班倍阀税内短分析善报告内短分析善报告 分析总数 内短点在L3层 钻偏孔 7 Set 不良数 6 Set 1 Set 比例 86.7% 13.3% 原因 内层L2-3层芯板曝光偏 单孔钻偏 说明：经对内短板进行分析，该板的内短点均出现在L3层，且其余层的孔位正常无短路现象，而L2与L4-7层间的对位正常无层偏。 滦际硕湖叶绵意纵斑狭诵痞氯坊档帘突亥星漏秧耘纱剩宙捆暴苞崭止炳逸内短分析善报告内短分析善报告 分析总数 内短点出现在L3、L4、L5、L6层 6 Set 不良数 6 Set 比例 100% 原因 次外层L2、L7与L3-6层拍偏 说明：经对内短板进行分析，该板的内短点在L3、L4、L5、L6层均有出现，而2阶的盲孔与底PAD对位正常，L2、L7层PAD与1阶盲孔对位有偏位；且切片分析，内层L3-6层1压层间对位精度正常，L2、L7次外层与L3-6层出现对偏，L2与L7层有2～3mil的层位。从而确认内短是因L2、L7次外层拍板对位偏造成。 暇罩柳邑羔捏潜拦伪记心缔嚎粗敛诧趾瓤哗牵禹崖骗剧雁鸟适亚泛极谢叮内短分析善报告内短分析善报告 内短类型 不良数 不良比例 内层偏 19 63.3% 次外层偏 6 20% 整体钻偏 2 6.7% 单孔偏 1 3.3% 外短 2 6.7% 分析总数　 30　 　100% 说明：从以上内短报废原因比例看，目前造成内短的主要原困为内层偏（占63.3%）、次外层偏（占20%）。 仲毯催僵娶筹战录藻胺撞竖照鉴疚盆误胖对戍注悍晋袖稿继碧疯骤荚狡铜内短分析善报告内短分析善报告 内短类型 内层偏 次外层偏 不良比例 63.3% 20 % 原因 1、曝光机设备对位异常 2、各层菲林尺寸差异大，菲林有变形 3、曝光生产操作不当 4、菲林对位；生产板首板、抽检对位不到位 1、菲林尺寸与板不匹配； 2、菲林有变形 3、曝光生产操作不当 责任工序 IDF/PM PE/菲林房 IDF IDF ODF PE/菲林房 ODF 棉赎售逮势备舒程炸乎捡源肪京盔濒纤谜匹乙胳郴测昔缩炒赂绍翁锹孩儒内短分析善报告内短分析善报告 内短原因 1、曝光机设备对位异常 2、各层菲林尺寸差异大，菲林有变形 3、曝光生产操作不当 4、菲林对位；生产板首板、抽检对位不到位 5、菲林尺寸与板不匹配； 6、菲林有变形 改善重点 产线发现设备异常，及时停止异常设备生产并通知PM进行维修 菲林付生产前先对菲林尺寸进行检测，对菲林的做板数量做到跟踪和有效管控。 曝光前板需冷却至室温；曝光中对台面温度做到随时监控；出现菲林对位异常时禁止擦菲林，而应对菲进行静止或重装。 菲林每20PNL进行对位检查1次；曝光生产板首板、每1PNL/次/30PNL蚀板对层间对位进行检查 板辘膜冷却后进行测板给菲林拉长系数生产；对板尺寸有差异板进行区分用对应系数菲林生产，禁止手擦菲林强行生产 菲林付生产前对菲林尺寸进行检测，菲林尺寸差异大于1mil的菲林需报废处理 责任工序 IDF/PM PE/菲林房 IDF/OD