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几种常见气体传感器的研究进展 李冬梅 黄元庆 张佳平 张鑫 辜克兢 摘要：气体传感器日渐发展，其应用的范围越来越广，特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理，并对常见几种有毒性气体（一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物）和可燃性气体（氢气、甲烷）的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍，同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。关键词 ：敏感材料；气体传感器；有毒气体；可燃性气体；MEMS技术中图分类号: TP212.2 文献标识码: A　　　 一、前言 1964Wickens和Hatman利用气体在电极上的氧化还原反应研制出了第一个气敏传感器，1982年英国Warwick大学的Persaud等提出了利用气敏传感器模拟动物嗅觉系统的结构[1]，自此后气体传感器飞速发展，应用于各种场合，比如气体泄漏检测，环境检测等。现在各国研究主要针对的是有毒性气体和可燃烧性气体，研究的主要方向是如何提高传感器的敏感度和工作性能、恶劣环境中的工作时间以及降低成本和智能化等。 下面简单介绍各种常用的气体传感器的工作原理和一些常用气体传感器的最新的研究进展。 二、气体传感器的分类和工作原理[2－4] 接触燃烧式气体传感器是基于强催化剂使气体在其表面燃烧时产生热量，使传感器温度上升，这种