(第3章不同集成度智能传感器系统介绍.pptVIP

声表面波谐振器（SAWR）（由叉指换能器＋金属栅条式反射器构成）＋ 放大器＋匹配网络（实际上就是移相网络电路） f）加工工艺：金属淀积工艺＋光刻技术 工作原理：基于压电材料的逆压电和正压电效应。在激励SAW叉指换 能器上加上适当频率的交变电信号后，压电基底内部会产生交变电场分 布，由于逆压电效应，激励叉指换能器的叉指电极间的材料将产生周期形 变，这种周期性的形变就产生沿叉指两侧表面传播出去的SAW，其频率等 于所施加电信号的频率。当这种SAW通过基底传播到接收叉指换能器时， 借助正压电效应，接受叉指换能器将输出交变的电信号。 起振后的振荡频率会随着温度、压电基底材料的变形等因素影响而发 生变化。 反射栅条的作用：反射栅条主要是将SAW反射回来，加强振荡效果， 这有点像激光器两端反射膜的作用。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3）集成数字温度传感器 a）Maxim公司的产品 利用PN结的温度特性，输出形式：模拟输出、逻辑输出、数字输出 ，数字输出型一般带有串行接口： 、 、