ITO镀膜交流概念.ppt

*/50 3、S16NL7R-60 ANS产品，物性规格是： 电阻：45±8.5 ITO膜厚度：450±70 透过率： 84%∽89% 耐热性:≤2.2倍 难控点:耐热性 生产时的建议: 1、温度最好控制在400-410度 2、ITO靶材开后3对 3、ITO靶材寿命控制在200KWH以内生产比较好 ■ 特殊客户注意事项 */50 ■ 镀膜应了解框架不同点的物性 例如弯曲度：框架上的玻璃弯曲度是由下向上，数值越来越大 建议： 整理出多机种数据来说明 上大下小 */50 ■ 镀膜应了解FQA设备性能 右边炉子比左边炉子耐热性差 产品放在上层耐热性比下层耐热性差 产品两侧放玻璃保护，耐热性数据稳定 产品放在炉子中间耐热性差 两侧和顶部产品耐热性比中间耐热性差 */50 ■ 镀膜应了解FQA设备性能 产品放在一块砖上的耐热性比放在两块砖上的差 简单道理：加热一升水需要5分钟时间， 加热2升水需要的时间就是10分钟， 所以放一枚玻璃进去在300度稳定和放10枚玻璃进去所需要的时间是不一样的 耐热性差 */50 产品加入O2后为什么电阻会升高 加入O2后，ITO薄膜溅射的过程中，会产生大量的氧负离子,氧负离子在电场的作用会轰击到所沉积的ITO薄膜表面，使ITO薄膜的结晶结构和晶体状态造成结构缺陷。溅射的电压越大，氧负离子轰击膜层表面的能量也越大，那么造成缺陷的几率就越大，产生晶体结构也越严重，从而导致了ITO薄膜沉积厚度下降，电阻升高 ■ 镀膜应了解知识 */50 方块电阻测量仪 在长和宽相等的样品上测量的玻璃镀膜电阻。方块电阻的大小与样品尺寸无关，即任意大小正方形的玻璃电阻都是一样的，不管边长是1米还是0.1米，它们的电阻都是一样 ■ 镀膜应了解知识 结论 在耐热性规格不稳定和难控制的时候， 测试耐热性要求QA严格按玻璃100*50mm 进行切割(1：2的比例) */50 Pinnacle：使ITO靶材形成等离子体的功率生成装置。可生成0-12?的功率 ■ 镀膜应了解设备具体功能 */50 Sparc-leV：对在Pinnacle里生成传达到靶材之前的功率，起着滤波及控制的作用，可用频率为20-100? ■ 镀膜应了解设备具体功能 */50 设备邀请事项 */50 ■ 邀请事项-加热板变形 现象： ■A8靶材旁的加热板变形严重，每次T/C关A8靶材时，AR管会碰到变形的加热板，造成靶材安装困难，导致漏气 加热板变形严重 对策: ■ T/C时，请维修彻底解决 */50 ■ 邀请事项-靶材侧门镙钉松和断 邀请事项: ■请维修处在T/C时处理好 通过“垫片”才能压紧，7月24日T/C时A面有7处 压块与阴极镙钉有间隙不会压住阴极镙钉，起不到固定作用 */50 ■ 邀请事项B3、A4靶材水管固定位置不合理 现象： ■放下B3、A4靶材时，水管挡住了靶材，作业非常不方便 原因分析： ■水管固定位置不合理 对策： ■请维修协助重新固定水管，固定水管位置，不能造成放靶材时受水管影响 */50 ■ 邀请事项-靶材固定栓坏 现象： ■靶材固定栓无法固定靶材，很多设备安装后就没有 对策： ■请维修协助处理 无固定孔 头部无插销 正常状态 */50 ■ 邀请事项-3#Ar气瓶压力表坏 现象： ■3#Ar气瓶压力表从开机到现在总是显示这样的压力，无法确认瓶内Ar气是否真的用完了，每次只有更换到别的阀门上才知道Ar气是否用完 对策： ■请维修更换处理 压力表总是这样指示 */50 ■邀请事项-工具老化 ■套筒板手头坏(已改善） ■T型板手头滑 ■电 池不耐用 原因分析： ■工具使用时间过长 建议对策： ■确定工具使用时间，按时更换 以7月24 本班换靶材 时统计 */50 A班 C班 B班 ■团结 痛在哪里？ */50 下岗休息时要人闲心不闲，多观察，多思考 异常时要及时、准确、迅速地做出判断，不盲目 J/C时要做好充分的准备，没有100%的把握不要做，千万不能有赌的心态 ■感悟 */50 认真做事,只能把事情做对 用 做事,才能把事情做好 细推物理须行乐，何用浮名绊此身 ■感悟 */50 谢 谢！ * * * * * * * * Self Leader = Expert Power? ???? ??? ??? ??? ?? Self Leader? 3? ???? ???? ? ?? ???? ?? STN 事业部 */50 STN生产处B班（QQ406433680） 2009. 08. 08 镀 膜 交 流 */50 J/C作业时序及注意事项 */50 ■ J/C时人员分工 兰玉高 兰 玉 高 1、人员