激光传感技术及应用（参考）.pptxVIP

激光传感技术及应用为什么用激光传感？ 激光具有单色性好、方向性好、相干性好、亮度高四大优点，因此广泛的应用于传感领域。激光传感可以实现许多常规传感器无法实现的功能，包括大距离、纳米级微小尺寸、高精度、非接触测量等，而且传感器性能稳定可靠激光传感的方法及应用激光干涉法激光衍射法激光莫尔法激光扫描法激光准直法激光测距散斑测量全息干涉测量激光干涉法 如图1-1所示，由激光器发出的光束经会聚透镜聚焦在观察屏的小孔之处，成发散光束，该光束经待检平晶前、后两个面反射形成观察屏上干涉条纹，干涉条纹的中心为O，测出OS的距离就知道平晶的楔角。图1测量平晶楔角的激光干涉系统以激光干涉测量平晶楔角为例激光衍射法 对于微小尺寸(500um以下)的各种细丝、狭缝、微小位移、微小孔等的测量，如果采用几何光学放大成像法测量，会由于光的衍射效应导致测量误差增大。激光衍射技术可以实现非接触动态测量，能够解决这一问题。 1、细丝直径测量 2、薄带宽度测量激光衍射法—细丝直径测量 图2 激光衍射测量系统组成激光衍射法—薄带宽度测量1、2是放大器3是差分放大器4是反相器5是“与”门图3 激光衍射钟表游丝动态测量系统激光莫尔法图 4 激光莫尔版型测量系统 激光莫尔法的主要功能是可以实现板材的板形测量，由日本新日铁(株)生产技术研究所的北村公一等人开发并用于热轧带钢板形测量。测量原理是利用相同级次的莫尔条纹代表钢板在相同