激光技术应用1（参考）.pptVIP

现在比较流行的是Immersion lithography（浸入式光刻） 浸入式光刻是指在曝光镜头和硅片之间充满水(或液体). 对于193nm光刻来说, 水是最佳液体. 光刻的原理 3 ．激光制造材料 科学研究用的材料，生产用的材料，大多数是人工制造的。材料制造是发展科学技术和生产技术的基础。激光开发了制造材料新技术，利用激光能够制造出质量好，性能超群的材料. 比如，用激光能够制造优质高温超导薄膜和纳米材料. 氧化物超导薄膜的超导性能对组分非常敏感，不同的化学配比，有不同的超导转变温度。 现在利用激光技术制薄膜，已经制造出高质量 Y（钇）系，Bi（铋）系和Te（碲）系高温超导薄膜。 纳米材料在光学，热学，电学，磁学，声学，化学等各方面特性与块状材料明显不同，利用这种材料制造出的元件性能比用块状材料制造的更优异。 比如，用纳米材料制造的磁记录器，记录信息的密度可以提高10倍，用纳米材料制造的催化剂，催化效率可以提高 100倍。 制造纳米材料的方法现在有好几种，比如液相沉淀法，加热蒸发法等。但是，用激光技术开发的制造技术制造的纳米材料质量最好，是最有发展前景的制造技术。 利用激光技术开发出来的制造技术主要有激光加热蒸发沉淀法，激光气相法和光子解离法。 现在利用激光技术已经能够制造出性能优良、高熔点的纳米材料SiO2 , MgO , Al2O3等 . PLD的独特之处是激光