激光衍射测量和莫尔条纹技术（参考）.pptVIP

* * 莫尔条纹测试技术 1、莫尔条纹测量位移 将被测几何量转换为莫尔条纹的变化 将莫尔条纹的变化经过光电转换系统转换为电信号 光栅传感器示意图 1-灯；2-聚光镜；3-标尺光栅；4-指示光栅；5-硅光电池 长度测量---长光栅 * a、测量原理 b、零位光栅 记录波形变化周期数（条纹移动数）N，光栅的位移量x=Nw c、辨向与细分 a)标尺光栅 b)指示光栅 c)零位脉冲 * 角度测量---圆光栅 d)径向圆光栅；e)形成的条纹；f)径向光栅条纹解析图 a)切向圆光栅；b)形成的环形条纹；c)切向光栅条纹解析图； * 切向圆光栅 径向圆盘光栅 条纹宽度不是一个定值，随条纹所处位置的不同而有所变化。 条纹宽度上等距分布的各点并不对应于一个节距角内光栅的等距位移。 R为圆光栅上某点的刻划半径；α为圆光栅角节距；r为小圆半径；2s为两光栅中心距。 * 光栅式位移测量特点： ①精度高：可达0.1微米 ②大量程测量兼有高分辨力 ③可实现动态测量 ④具有较强的抗干扰能力 * 2、莫尔偏折法测量光学系统焦距 -------Talbot距离 泰伯效应（Talbot）：平面波照明一个具有周期性透过率函数的物体时，会在该物体后某些特定距离上重现该周期函数的图像 * 莫尔偏折法是泰伯效应与莫尔条纹技术的结合 利用第一块光栅的Talbot像受相位物体影响的变形与第二块