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东 北 石 油 学 院 课 程 设 计 2012年 3月 1 日 东北石油大学课程设计任务书 课程 光电子技术基础课程设计 题目 倍频激光器的设计 专业 电子科学与技术 姓名 朱林 学号 080901240220 主要内容、基本要求、主要参考资料等 1、主要内容 设计一台腔内倍频或者腔外倍频的激光器，并分析其影响转换效率的因素。 2、基本要求 在论文中分析倍频激光器的工作原理，并分析其满足相位匹配的条件。 3、主要参考资料 [1] 马养武,王静环,包成芳.光电子学[M].浙江大学出版社， LD泵浦全固态激光器从二十世纪八十年代以来获得长足的进步，紫外激光器因其在人眼安全波段，光刻的主要光源等重要应用，一直以来就是人们研究的热点。 在被动调Q理论的指导下，充分考虑了被动调Q晶体Cr:YAG的激发态吸收效应对脉冲激光器性能的影响，延伸了Degnan的被动调Q优化理论，直接给出了优化设计过程中我们最关心的被动调Q晶体的小信号透过率与输出耦合镜的透过率关系，简化了设计程序。在高斯光束倍频理论的指导下，改进了传统的聚焦方式，使结构更为紧凑下，获得了更高的紫外功率输出，并且该结构可同时满足三倍频，四倍频的要求。在连续紫外的研究中，充分考虑到激光器输出镜的最佳透过率与倍频转换效率之间的关系，详细了计算了一定泵浦功率时的输出镜最佳透过率，并由此优化倍频晶体长度。 设计了一台高性能的脉冲1064nm红外激光器，单脉冲运转，在输入泵浦为14.5W的时候，峰值功率高达10kW以上、脉宽10ns、脉冲能量为100μJ且脉冲序列稳定，单脉冲输出。腔外一次聚焦，两次频率变换，获得了340mW的355nm脉冲输出，290mW的266nm脉冲输出，均为同等情况下国内所见报道的最好结果。 采用简单的两镜腔结构，将二倍频、三倍频频率变换晶体同时放在腔内，还实现了355nm连续激光的输出，在泵浦功率为5.6W的时候，输出功率高达15mW。 非线性晶体的选取及光束最佳聚焦 2.1倍频器件工作原理 图12-2 倍频晶体折射率椭球及通光方向示意图 由于晶体中存在色散现象，所以在倍频晶体中的通光方向上，基频光与倍频光所经历的折射率与是不同的。图12-3给出了一个单轴晶体的色散及1064nm倍频匹配点的折射率关系曲线。 图12-3 单轴晶体色散曲线及倍频原理示意图 图12-3中的实线代表了寻常光的折射率，点划线代表了非常光的折射率，中间的点线则代表了非常光在改变入射光角度时得到的折射率。由图中可以看出，当改变晶体中入射光的角度，中间的非常光折射率曲线随之变化，在如图的位置上，可以实现1064nm的倍频。即在特定的通光方向上，532nm的倍频光与1064nm的基频光折射率可以实现相等，实现倍频的相位匹配。 对于双轴晶体其相位匹配的计算较为复杂，这里不详细论述。其相位匹配原理都是相同的。 2.2 紫外倍频晶体的选取 要想获得高功率紫外激光输出，由上节频率变换的效率公式可知，频率转换晶体的有效非线性系数、走离角、接收角、接收带宽、接收温度等一系列晶体本身因素至关重要，因此我们有必要详细的分析晶体的优化选取，从而选择最合适的晶体，实现频率的高效变换。 2.2.1 二倍频非线性晶体的选取 通过对掺Nd3+频率变换来获得紫外激光来说，首先就是要将1064nm的红外输出转换为532nm绿光，这一步无论对三倍频还是四倍频来说都至关重要，但对1064nm倍频晶体的研究已经很成熟，有很多的作者在这方面也做了很多的实验，固我们在此就不再重复，直接给出我们所选用的晶体，KTP(KTiOPO4)通光长度为9mm，Ⅱ类匹配（），其详细计算结果如下表所示： 表2-1 KTP倍频参数 Wavelength [nm] Walkoff [mrad] theta phi[deg] deff Crystal Ang.tol Temperature range Mix accpt ang Mix accpt bw 1064.0(e) + 1064.0(o) = 532.0(e) 3.16 0.00 4.13 θ=90.0φ=23.5 3.58E0 pm/V 11.50 mrad-cm 25.42 K-cm 62.63 14.08 mrad -c m 7.82 28.50 cm-1 -c m 脉冲紫外激光器设计 3.1 被动调Q的理论分析 在近似的情况下，速率方程是分析激光器性能的最重要的手段，1965年，Szabo and Stein推导出了被