AES的分析应用AES3-北京电子能谱中心.ppt

电子能谱学第9讲俄歇电子能谱的应用 朱永法 清华大学化学系 2005.11.21 34 Port：20 User：lesson pass：lesson 俄歇电子能谱提供的信息 固体表面的能带结构、态密度 ，电子态； 表面的物理化学性质 变化 元素组成，含量，化学价态，深度分布，微区分析等信息 表面吸附、脱附以及表面化学反应 ； 材料组分的确定，纯度的检测，材料特别是薄膜材料的生长 等； 电子器件的失效分析，材料的腐蚀等； 俄歇电子能谱的应用 表面清洁 表面吸附和反应 表面扩散 薄膜厚度 界面扩散和结构 表面偏析 摩擦润滑 失效分析 电子材料 核材料 催化剂 纳米材料研究 固体表面清洁程度的测定 在研究工作中，经常需要获得清洁的表面。 一般对于金属样品可以通过加热氧化除去有机物污染，再通过真空热退火除去氧化物而得到清洁表面。 最简单的方法则是离子枪溅射样品表面来除去表面污染物。 样品的表面清洁程度可以用俄歇电子能谱来实时监测。 表面吸附和化学反应的研究 由于俄歇电子能谱具有很高的表面灵敏度，可以检测到10-3原子单层，因此可以很方便和有效地用来研究固体表面的化学吸附和化学反应。 不仅可以分析吸附含量，还可以研究吸附状态以及化学反应过程 表面吸附研究 表面吸附反应 表面清洁度检测 薄膜厚度测定 通过俄歇电子能谱的深度剖析，可以获得多层膜的厚度。 由于溅射速率与