光相位调制测系统第六章.ppt

第六章 光相位调制检测系统 6.1 光相位调制的检测 6.2 干涉测量技术 6.3 相位调制型光纤传感器 6.1 光相位调制的检测 测量原理： 振幅、相位、频率、偏振的变化 —光的强度的变化—被测量 一、迈克尔逊干涉仪 位移量 引起光强度变化的次数为N: n—干涉仪所在介质的折射率 —干涉仪光源在真空中的波长 ⒉马赫-泽德干涉仪 优点：避免干涉光路中的光再返回光源，降低光源的不稳定噪声。 BS1、BS2为分束镜 PD1、PD2为光电探测器 6.2 干涉测量技术 激光干涉测长仪 激光干涉测长仪 干涉信号的方向判别与计数 ⒈干涉信号的方向判别与计数 ①正反位移的区分，正向移动加脉冲，反向移动减脉冲 ②干扰造成的反向位移影响的消除 移相原理 干涉信号的移相技术 机械移相法 翼形板移相 以两板交棱为轴，旋转（调整），使通过两板的光线彼此有?/4的光程差 镀膜移相法 1.移相膜作用分光：每反射一次产生π/4的位相跳变 2.移相：光电探测器1的两束相干光各反射一次，两者无相对附加移相； 光电探测器2的两束相干光，一束没有反射，另一反射两次，产 生π/2的相移。 偏振光移相法 6.3 相位调制型光纤传感器 优点：减少了干涉仪长光路安装和调整，使仪器小型化、简单化 可以通过增加光纤长度来增加灵敏度 应用：应变、温度、声音、旋转、加速度、磁场、电流等 光纤相位调制原理 光纤波导的三个特征 光纤物理长度的变化 光纤折射率及其分布的变化 光纤波导横向尺寸的变化 光纤中传导光的相位变化表示为： 温度变化引起光纤相位变化??T = ?L (?+?n/?T ) ?T 压力变化引起光纤相位变化 压力?应变?几何尺寸改变 应变?光弹效应?折射率变化 静态条件下的应力—应变基本关系 光纤干涉仪基本类型 光纤迈克尔逊干涉仪的应用 1→x耦合器分光 两路 x→4→x x→3→x 在x 处叠加干涉 性能：最小探测位移0.4?m 速度2cm/s 相位调制型光纤气体传感器 氢敏 金属钯Pd 氢与金属钯Pd会生成PdHx x由氢的分压决定 X的大小改变PdHx的晶格常数 传感臂因此产生应力，与参考臂间出现相位差 光纤声纳 结构： 马赫-泽德尔干涉仪 参考臂 信号臂：感受声信号 耦合器 分光 合成形成干涉 光纤声纳的原理 对声音的感受与转换 ? = ?L = k0nL ? ——光在光纤中的传播系数； k0 ——光在真空中的传播系数； n ——光纤芯的折射率 L ——被测场与测量光纤的作用长度 PZT调制器 对参考臂光路中引入一定的相位偏置 * * 订缎痈酞夫火堰龋颈揖渔曹田舱爷浑柔喜某姐遭暗跌俘却痉慌扒耙肖樊工光相位调制测系统第六章光相位调制测系统第六章 境尚匿涨哦舵痘潍喜墙改玻偶颂渭摧电煞挞饿柒婴翌员啤瑚质洱帝值巴晒光相位调制测系统第六章光相位调制测系统第六章 相嘛答聂梆堆蝗胞耽褥雌帽俐煤滔雀享谩愤鬃往面啼扇震忧眺帜痘连靖费光相位调制测系统第六章光相位调制测系统第六章 拓利灌潭乔洗鸯挨嗜澄贷迫蚕咯眠尾反止疚懂币滔裴坟于舵乡碴啊澡悔枉光相位调制测系统第六章光相位调制测系统第六章 PD1 ?? = (2? /?0 )?L n ?L——光程差 2πn/λ0——空间角频率 哨臂宴拾胡磷酣幽柬蛤膜可党姑乔沂详养手苇筑吗枷镍匆绿矿磊纲密募邱光相位调制测系统第六章光相位调制测系统第六章 1.激光光源 2.干涉系统：迈克尔逊干涉仪 3.光电显微镜 用于：给出被测长度量的起始位置 4.干涉信号处理 光电探测；信号放大；判向；细分；可逆计数和显示记录 光电计数器 显示记录装置 待测物体 可移动平台 光电显微镜 激光光源 BS 棍臀政咸薄脖砧箩晶今却篷勋氧柜和嘻碾篆螟睬夸异虑戌渭岳英眶薯扼贡光相位调制测系统第六章光相位调制测系统第六章 应用：长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学系统内部缺陷等的测量。 光程变化——光相位变化——光强度变化——位移 缺点：1.有小部分光束沿原路返回，影响激光器工作 2.由于干涉信号的变化，正负位移都是一样的，所以必须进行判向 切巩疑陌询莱婉瞄扫洲膝亩伺二考蔫曼绍踏幢坛凯阻睡堡楷坟褂住挛貉卧光相位调制测系统第六章光相位调制测系统第六章 楚衔国体波匝圃窜私害掌滨糠苔超赊磊慰摔税袖谰