PV供参考学习.docVIP

PV(制程真空或工艺真空)的作用是机台内部机械手吸附硅片或真空吸笔（或叫真空小镊子）吸硅片来挑片用。半导体,芯片,设计,版图,芯片,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,process,layout,package,FA,QA-G:Wbs5J3P5nuf一般机台对PV的真空度要求是－500mmHg，所以真空吸笔一般负压也要－500mmHg。4Q*]$cjbG
ph(M%T
wI半导体,芯片,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QAPV的单位表示为毫米汞柱(或Torr)、bar、PSI等.半导体,芯片,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA ~*C2ikVeh1bar=7.5×10(2次方)mmHg(或Torr)、1mmHg(或Torr)=1.33322×10(-3次方)ba厂务常用缩写 字体: 小 中 大 | 打印 发表于: 2007-4-20 08:54 ?? 作者: cecilcxm ?? 来源: 半导体技术天地 Abbreviation? ? Full Name? ? ? ? 中 文 說 明HVAC? ? ? ? ? ? ? ? CUP? ? ? ? Central Utility Plant? ? ? ? 中央動力廠房? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? GEX? ? ? ? General EXhaust? ? ? ? 普通及熱排氣? ? ? ???? ? ? ? SEX ? ? ? ? Scrubber EXhaust? ? ? ? 酸排氣? ? ? ???? ? ? ? VEX? ? ? ? Volatile orgaic compound EXhaust ? ? ? ? 有機溶劑排氣? ? ? ? ? ? ? ? AEX? ? ? ? Ammonia EXhaust? ? ? ? 鹼性排氣? ? ? ???? ? ? ? PCW? ? ? ? Plant Cooling Water? ? ? ? 工藝冷卻水? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? PV? ? ? ? Process Vacuum? ? ? ? 工藝真空? ? ? ? ? ? ? ? HV? ? ? ? House Vacuum? ? ? ? 真空吸塵? ? ? ? ? ? ? ? CW? ? ? ? City Water? ? ? ? 自來水? ? ? ? ? ? ? ? FMCS? ? ? ? Faility Monitoring Contro System? ? ? ? 廠務監控系統? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? MCC? ? ? ? Motor Control Center? ? ? ? 馬達控制中心? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? VFD? ? ? ? Variable Frequency Device? ?變頻器? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? CCTV? ? ? ? Close Circuit Televsion? ? ? ? 閉路電視? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? PA? ? ? ? Public Adress system? ? ? ? 廣播系統? ? ? ? ? ? ? ? FA? ? ? ? Fire Alarm??system? ? ? ? 火災報警系統? ? ? ? ? ? ? ? UPW? ? ? ? Ultra Pure Water? ? ? ? 超純水? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? FWW? ? ? ? Fluoride Waste Water? ? ? ? 低濃度氫氟酸廢水? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? IWW? ? ? ? Industry Waste Water? ? ? ? 工業廢水? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? OWW? ? ? ? Organic Waste Water? ? ? ? 有機溶劑廢水? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? DAHW? ? ? ? Drain Amonia??Hydride? ? ? ? Wast