防静电讲义解析.ppt

防静电基本知识 一、静电的基本概念 二、典型的静电源 三、静电的危害 四、静电控制原理 五、生产线采取的防静电措施 一、静电的基本概念 二、典型的静电源 三、静电的危害 四、静电的控制原理 五、生产线采取的防静电措施 * * 1.静电的定义： 静电是物体表面过剩或不足的静止电荷。静电是一种电能，它留存于物体表面；静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的结果；静电是通过电子或离子转移而形成的。 2.静电的特点： ⑴高电位：数百伏到数万伏 ⑵低电量：微库仑级 ⑶小电流：微安级 ⑷作用时间短：微秒级 3.静电产生的物理效应： ⑴力学效应：同性相斥，异性相吸 ⑵放电效应：静电放电可以出现在两个静 电位不同的物体之间，也可 发生在物体表面静电荷直接 向空气放电。 ⑶放电感应效应：当带电体附近存在被绝 缘的导体时，在该导体 表面会出现感应电荷的 现象。 1.人体静电 1.1步行起电 1.2摩擦起电 1.3感应起电 1.4影响人体带电的因素： 1）人体对地电阻 2）人体电容 3）不同布料制成的服装和湿度的关 系： 绝缘电阻、吸湿性。 2.电子装联生产中的静电源： 工作服： 工作鞋： 树脂、浸漆封装表面： 各种包装容器： 终端台、工作台： 各种绝缘地面： 某些电子生产设备： 1.电子产品静电放电损害的特点： 1.1隐蔽性： 1.2失效分析的复杂性： 1.3损伤具有潜在性： 1.4损伤的随机性： 2．人体静电的危害： 人体电击： 引发爆炸和火灾： 对静电敏感电子产品的工作造成障害 3．静电对半导体器件的危害 静电吸附： 静电放电引起的器件击穿： 硬击穿：一次性芯片介质击穿、烧毁等永 久性失效。 软击穿：造成器件的性能劣化或参数指标 下降而成为隐患。由于器件参数 变化很可能使整机运行不正常， 或运行一段时间后不能工作。因 此软击穿比硬击穿带来的危害更 大。 静电感应： 静电放电时产生的电磁脉冲： 3.静电敏感器件静电敏感度： 一般规定，静电损伤电压不小于16000V的为静电不敏感器件，小于16000V的为静电敏感器件。 静电敏感度分级： 1级：不大于1999V 2级：2000～3999V 3级：4000～15999V 易受损伤的器件和部位： 结构上有下述特点的器件易受静电损伤： 芯片尺寸小、热容量小、小信号器件、高频器件、微细金属化、浅EB结、薄栅氧化层等。 器件易受损伤的部位有：输入电路、输出电路的高阻部分，扩散区边缘，金属化区边缘等区域 。 1.静电泄漏和耗散 静电泄漏是通过替换电子生产过程中接触到的各类绝缘物（包括各种工装夹具和制品）而改用防静电材料并使之接地来完成的。 1.1 防静电材料： 1.2 ESD防护材料的制备： 1.3 泄漏与接地 软接地：地线串接阻值较高的电阻器后再与大地相连。软接地的目的在于将对地电流限制在人身安全范围之下（5mA）。 硬接地：将地线直接接地或通过一低电阻接地。硬接地用于静电屏蔽或仪器设备、金属体的接地。 2.静电中和 静电中和是消除静电的重要措施之一。 静电中和原理：将正负离子与静电源上的正负电荷中 和，从而消除静电源上的静电。 3.静电屏蔽与接地 4.增湿 增湿的方法不宜用于消除高温环境中的绝缘体上的静电。 为对静电达到最佳的控制，必须使湿度保持在70％以上。 目的：减少静电的产生，迅速泄漏静电以及屏蔽ESD产生 的宽频带干扰，使SSD器件不遭受ESD损伤。 防静电操作系统 分为人体静电防护系统和防静电操作系统及设施 1. 该系统主要由防静电的手腕带、工作服、鞋袜等组成；必要时上需辅以防静电的帽、手套或指套、围裙、脚套等。 防静电手腕带佩戴注意事项：腕带是利用它与人体皮肤的接触而把人体静电迅速泄漏的装置。所以，操作人员的皮肤是否与腕带接触良好是发挥腕带泄漏静电作用的关键，在使用中必须切实注意这一问题。