硅材料成电路中的应用及其相关工艺.pptVIP

* * * * * * * * * * * * 硅材料在集成电路中的应用及相关工艺 ·什么是硅材料 ·硅材料与集成电路 ·集成电路相关工艺 硅材料 硅是重要的半导体材料，化学元素符号Si，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。它是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。 在加热条件下，硅和氧气能够发生反应生成二氧化硅。 二氧化硅属于光纤的主要制作材料，属于光波导，不属于半导体也不属于导体（通常所说的电导体）。在晶体管和集成电路中作杂质扩散的掩蔽膜和保护层,制成二氧化硅膜作集成电路器件。 二氧化硅 集成电路与硅材料 集成电路采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。 当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。 集成电路与硅材料 集成电路中所应用到的硅材料多为硅的单晶体。它是具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。对于集成电路来讲，利用硅材料制作衬底（一般为P型半导体），参与集成电路的工作 。 高纯的单晶硅是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微