微摩擦力测量装置的设计毕设论文.docVIP

毕业设计（论文） 题 目： 微摩擦力测量装置的设计 系 别 航空与机械工程系 专业名称 机械设计制造及其自动化 班级学号 学生姓名 指导教师 二○一四 年 五 月 微摩擦力测量装置的设计 摘要：摩擦现象与人类的生产和生活密切相关，自80年代原子显微镜和摩擦力显微镜问世以后，发现在原子、分子及纳米级尺度下宏观的摩擦规律不再适用，摩擦学研究开始进入微观与宏观结合的新阶段，随着微电子技术的飞速发展而兴起的微电子机械系统(Micro Electron Mechanical System, MEMS)，其零部件的几何尺寸目前一般在微米数量级，他们之间的摩擦介于微观与宏观摩擦之间，称之为微摩擦。本文提出了一种全新的微摩擦测试仪器，在查阅了大量的国内外资料的基础上，详细论述了微摩擦力测试仪的总体设计过程，主要包括转动装置和进给系统的具体设计原理和方法及电机的选用。 关键词:微摩擦力 测试仪 MEMS传感器  MECHANICAL DESIGN OF MICRO FRICTION TESTING BED ABSTRACT: The phenomenon of friction is get w