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XX公司环境因素能源、资源消耗评价一览表 部门：动力部 评价人： 审核： 日期：2009.03.25 No. E01-2 项次 活动/产品/服务 环境因素 环境影响 g h 总分 消耗程度 H/L 工序全过程 用电 能源消耗 3 5 8 车间清洁 使用无水乙醇 资源消耗 1 1 2 车间清洁 使用离子水 资源消耗 1 1 2 扩散生产 使用抽风 能源消耗 3 1 4 扩散生产 使用冷却水 能源消耗 1 1 2 扩散生产 使用真空 能源消耗 1 1 1 扩散生产 使用N2、O2、H2 3 1 4 扩散生产 使用压缩空气 能源消耗 3 1 4 扩散生产 使用特气 资源消耗 1 1 2 扩散生产 使用掺杂源（B、P等液态源） 1 1 2 扩散生产 使用TEOS 资源消耗 1 1 2 扩散生产 使用三氯乙烷 资源消耗 1 1 2 检片 真空的使用 能源消耗 3 1 4 石英清洗 使用压缩空气 资源消耗 3 1 4 石英清洗 用水 资源消耗 1 1 2 石英清洗 使用化学药品 资源消耗 1 1 2 项次 活动/产品/服务 环境因素 环境影响 g h 总分 消耗程度 H/L 石英清洗 N2使用 1 1 2 特气柜 使用N2 资源消耗 1 1 2 特气柜 使用抽风 能源消耗 1 1 2 光刻设备 用电 能源消耗 1 1 2 光刻设备 用压缩空气 能源消耗 1 1 2 光刻设备 用氮气 能源消耗 1 1 2 光刻制版 用水 资源消耗 1 1 2 注入 冷却水的使用 能源消耗 1 1 2 注入 电的使用 能源消耗 3 1 4 注入 特气的使用 能源消耗 3 1 4 注入 普通氮气与压缩空气的使用 能源消耗 1 1 2 注入 各种油品的使用 资源消耗 3 1 4 维护 各种润滑油的使用 资源消耗 1 1 2 维护 酒精等有机溶剂使用 资源使用 1 1 2 蒸发溅射 电的使用 能源消耗 3 1 4 蒸发溅射 冷却水的使用 能源消耗 1 1 2 蒸发溅射 贵金属的使用 资源使用 3 1 4 蒸发溅射 普通氮气与压缩空气的使用 资源使用 1 1 2 项次 活动/产品/服务 环境因素 环境影响 g h 总分 消耗程度 H/L 蒸发溅射 各种油品的使用 资源消耗 3 1 4 模块清洗 酸的使用 资源使用 1 1 2 减薄 电的使用 能源消耗 3 1 4 减薄 冷却水的使用 能源消耗 3 1 4 背洗擦片 酒精等有机溶剂使用 资源使用 3 5 8 背洗擦片 酸的使用 资源使用 1 1 2 抛光 电的使用 能源消耗 3 1 4 清洗、腐蚀 用电 能源消耗 3 1 4 清洁 使用无水乙醇 资源消耗 1 1 2 清洗、腐蚀 使用离子水 资源消耗 3 5 8 生产过程 用电 能源消耗 5 3 8 生产过程 用水 资源消耗 3 5 8 场所清洁 使用无水乙醇 资源消耗 1 1 2 硅片清洗 使用压缩空气 能源消耗 3 1 4 硅片清洗 使用化学药品 资源消耗 3 3 6 外延 工艺使用各类气体 资源消耗 3 1 4 外延 使用压缩空气 能源消耗 1 1 2 特气柜 使用N2 资源消耗 3 1 4 项次 活动/产品/服务 环境因素 环境影响 g h 总分 消耗程度 H/L 外延片测试 使用N2 能源消耗 1 1 2 干刻 冷却水的使用 能源消耗 1 1 2 干刻 电的使用 能源消耗 1 1 2 干刻 特气的使用 能源消耗 1 1 2 干刻 普通氮气与压缩空气的使用 能源消耗 1 1 2 干刻 各种油品的使用 资源消耗 3 1 4 维护 各种润滑油的使用 资源消耗 1 1 2 维护 酒精等有机溶剂使用 资源使用 1 1 2 机械泵维护 酒精等有机溶剂使用 资源使用 1 1 2 机械泵维护 电的使用 能源消耗 1 1 2 车/钻/铣床 能源消耗 1 1 2 电焊/氩弧焊 能源消耗 1 1 2 电焊/氩弧焊 资源使用 1 1 2 维修 电烙铁使用 能源消耗 1 1 2 纯水制备 化学试剂使用 资源使用 3 1 4 纯水制备 氮气使用 能源利用 1 1 2 纯水制备 水使用 资源使用 3 1 4 纯水制备 电的使用 能源使用