empro-pv极致型多入射角激光椭偏仪（光伏专用）.docVIP

EMPro-PV 极致型多入射角激光椭偏仪（光伏专用） EMPro-PV是针对光伏太阳能电池高端研发和质 量控制领域推出的极致型多入射角激光椭偏仪。 EMPro-PV用于测量绒面单晶硅或多晶硅太阳电 池表面减反膜镀层的厚度以及在 632.8nm下的折射率 n。 也可测量光滑平面材料上的单层或多层纳米薄膜的膜 层厚度，以及在 632.8nm下折射率 n和消光系数 k。 EMPro-PV采用一体化样品台技术，兼容测量单晶 和多晶太阳电池样品，并实现二者的轻松转换。一键 式多线程操作软件，使得仪器操作简单安全。 特点： ? 粗糙绒面纳米薄膜的高灵敏测量 先进的光能量增强技术、低噪声的探测器件以及高信噪比的微弱信号处理方法，实现了对粗糙表面散射 为主和极低反射率为特征的绒面太阳电池表面镀层的高灵敏检测。 ? 原子层量级的极高灵敏度和准确度 国际先进的采样方法、高稳定的核心器件、高质量的制造工艺实现并保证了极高的准确度和稳定性，测 量绒面减反膜膜厚精度优于 0.03nm，折射率精度优于 0.0003。 ? 百毫秒量级的快速测量 国际水准的仪器设计，在保证极高精度和准确度的同时，可在几百毫秒内快速完成一次测量，可满足快 速多点检测和批量检测需求。 ? 简单方便安全的仪器操作 一键式操作设计，用户只需一个按钮即可完成复杂的材料测量和分析过程，数据一键导出，丰富的模型 库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求。 应用： EMPro-PV适合于光伏领域中高精度要求的工艺研发和生产现场的质量控制。可用于测量绒面单晶硅 或多晶硅太阳电池表面上单层减反膜的厚度以及在 632.8nm下的折射率 n。典型纳米膜层包括 SiNx，ITO， TiO2，SiO2，A12O3，HfO2等。应用领域包括晶体硅太阳电池、薄膜太阳电池等。 EMPro-PV也可用于测量光滑平面基底上镀的纳米单层膜或双层膜，包括膜层的厚度，以及在 632.8nm 下的折射率 n和消光系数 k。也可用于测量块状材料（包括，液体、金属、半导体、介质等）在 632.8nm 下的折射率 n和消光系数 k。应用领域包括半导体、微电子、平板显示等。 技术指标： 项目 技术指标 仪器型号 EMPro-PV 版本号 31 激光波长 632.8nm (He-Ne Laser) 膜厚测量重复性 （1） nm (对于平面 Si基底上 100nm的 SiO2膜层) nm (对于绒面 Si基底上 80nm的 Si3N4膜层) 折射率精度 （1） 1x10-4 (对于平面 Si基底上 100nm的 SiO2膜层) 3x10-4 (对于绒面 Si基底上 80nm的 Si3N4膜层)  单次测量时间 与测量设置相关，典型 0.6s 结构 PSCA（Δ 在 0°或 180°附近时也具有极高的准确度） 激光光束直径 1mm 入射角度 40°-90°可手动调节，步进 5° 一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品； 可测量 156*156mm电池样品上每个点 样品方位调整 Z轴高度调节：±6.5mm 二维俯仰调节：±4° 样品对准：光学自准直显微和望远对准系统 平面样品直径可达Φ 170mm 样品台尺寸 兼容 125*125mm和 156*156mm的太阳能电池样品 粗糙表面样品：与绒面物理结构及材料性质相关 最大的膜层测量范围 光滑平面样品：透明薄膜可达 4000nm，吸收薄膜与材料性质相 关 最大外形尺寸(长 x宽 x 887 x 332 x 552mm (入射角为 90o时) 高) 仪器重量（净重） 25Kg 选配件 水平 XY轴调节平移台 真空吸附泵 ETEM软件： ? 中英文界面可选 软件 ? 太阳能电池样品预设项目供快捷操作使用 ? 单角度测量/多角度测量操作和数据拟合 ? 方便的数据显示、编辑和输出 ? 丰富的模型和材料数据库支持 注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量 25 次所计算的标准差。 性能保证： ? 高稳定性的 He-Ne激光光源、先进的采样方法以及低噪声探测技术，保证了高稳定性和高准确度 ? 一体化样品台技术，兼容单晶和多晶硅太阳电池样品,轻松变换可实现准确测量 ? 高精度的光学自准直显微和望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准 ? 新型样品调节技术，有效提高样品定位精度，并节省操作时间 ? 新型光电增强技术和独特的噪声处理方法，显著降低生产现场噪声的影响 ? 一体化集成式仪器整体设计，保证了系统稳定性，并节省空间 ? 分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量 ? 一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库，方便用户使用 可选配件： ? NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片 ? NFS-Si3N4/Si氮