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硅微陀螺仪随机振动强度分析 　　摘 要 针对环境中振动因素致使硅微陀螺性能下降这一现象，对硅微陀螺仪进行随机振动分析，以考察其对振动环境适应能力。从随机振动输入激励强度这一角度，介绍了随机振动响应理论分析，对其进行随机振动试验，改变输入振动强度，统计比较陀螺输出零偏稳定性的变化，分析陀螺输出与振动强度的关系近似线性关系，与理论分析较为贴合。并在陀螺封装和组件优化提供了参考意见。 　　【关键词】硅微陀螺仪 随机振动 振动强度 　　硅微陀螺仪是一类新型的MEMS惯性传感器，以其体积小、成本低、可靠性高等优点被重点关注，在军事和民用领域有着广泛的应用。随着性能不断提升，应用环境的要求越来越苛刻。在实际使用中，环境因素对性能的影响非常明显，严重时可能使其无法正常工作，尤其是振动。其中振动对陀螺性能影响最主要表现在对零偏稳定性的影响。 　　振动分为周期性和随机性。在自然环境中，大多表现为随机特性。因此， 在研发和生产过程中按照各种型号的应用要求进行振动试验， 找出消除或减小环境随机振动对硅微陀螺性能影响的办法是非常必要的。 　　本文针对电动振动台激励下的随机振动试验状况， 介绍了基础激励下随机振动响应分析方法，并对不同振动强度进行了试验测试与分析，最终推导出陀螺输出信号与随机振动输入激励强度之间的关系。 　　1 随机振动试验理论分析 　　陀螺随机振动试验中机械结构受到的