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一维PSD传感器转换电路分析 摘要：对PSD（光电位置传感器的结构、工作原理、特性进行分析和概述Abstract: The structure, working principle, characteristics of one-dimensional PSD (photoelectric position sensor) are analyzed and summarized. Given a d PSD sensor and the transformation of the equivalent circuit of the circuit, and every part of the circuit principle of reasoning analysis. Using the software of multisim to make a switching circuit simulation of one-dimensional PSD sensor. Key words: one-dimensional PSD, working principle, switching circuit, circuit simulation 引言 位置敏感探测器(PSD)是一种光电测距器件。PSD基于非均匀半导体横向光电效应，达到器件对入射光或粒子位置敏感。PSD由四部分组成：PSD传感器、电子处理 元件、半导体激光源、支架（固定PSD光传感器与激光光源相对位置）。PSD的主要特点是位置分辨率高、响应速度快、光谱响应范围宽、可靠性高，处理电路简单、光敏面内无盲区，可同时检测位置的光强,测量结果与光斑尺寸和形状无关 。由于其具有特有的性能，因而能获得目标位置连续变化的信号，在位置 、位移、距离、角度及其相关量的检测中获得越来越广泛的应用。在PSD光电实验中，根据读出电压值的变化，可以知道物体的运动变化，从而达到了解光电传感器的构造原理和电子线路的设计与实践 、运算放大器的应用 。由 于其具有精度高的优点，在测量物体时，即使测量物体位置有微小的变化，电压值都会有很明显的变化。PSD的光斑活动位置可由光传感器的两端电极输出的电流决 定，位置距离分辨率为1400mV/1mm（供±5V系统数据显示器）或更大。PSD是一种基于横向光电效应的位置传感器件。它是一种非分割型器件，可将光敏面上的光点位置转化为电信号。当一束光射到PSD的光敏面上时，在同一面上的不同电极之间将会有电流流过，这种电压或电流随着光点位置变化而变化的现象就是半导体的横向光电效应。PSD可分为一维PSD和二维PSD。一维PSD可以测定光点的一维位置坐标，二维PSD可测光点的平面位置坐标。下面介绍的是一维PSD的工作原理，如图l所示。它由P、I、N三层构成，P层为感光面，两边各有一个信号输出电极；I区较厚但具有更高的光电转换效率，更高的灵敏度和响应速度；底层N引出一个公共电极，用来加反偏电压。由于反向偏置下的PSD性能优于零偏状态下PSD的性能，在应用中将PSD处于反向偏置状态。 （a）结构示意图 （b）等效电路图 图1 PSD的结构及等效电路 当入射光点照射到PSD光敏面上某一点时，假设产生的总的光生电流为I0。由于在入射光点到信号电极间存在横向电势，若在两个信号电极上接上负载电阻，光电流将分别流向两个信号电极，从而从信号电极上分别得到光电流I1和I2。显然，I1和I2之和等于光生电流I0，而I1和I2的分流关系取决于入射光点位置到两个信号电极间的等效电阻R1和R2。如果PSD表面层的电阻是均匀的，则PSD的等效电路为图1（b）所示，其中R1和R2的值取决于入射光点的位置。 假设负载电阻RL阻值相对于R1和R2可以忽略，则有： （1-1） 式中，L为PSD中点到信号电极的距离，x为入射光点距PSD中点的距离。式（1-1）表明，两个信号电极的输出光电流之比为入射光点到该电极间距离之比的倒数。将I0= I1+I2与式（1.1.1）联立得： （1-2） （1-3） 从以上两式可以看出，当入射光点位置固定时，PSD的单个电极输出电流与入射光强度成正比。而当入射光强度不变时，单个电极的输出电流与入射光点距PSD中心的距离x呈线性关系。若将两个信号电极的输出电流作如下处理： （1-4） 则得到的结果只与光点的位置坐标x有关，而与入射光强