一体式扩散泵高真空机组设计答案.ppt

一体式扩散泵高真空机组设计指导教师：郑锦华 教授 院系：化工与能源学院 专业：热能与动力工程 学生：李东耀 学号：20080390109 研究背景 真空镀膜技术是当今重要的高新技术之一，相对于传统材料制备技术，真空镀膜技术能制备多种新型功能材料，满足特殊条件和功能需求。 高真空镀膜技术的迅速发展，相应对真空镀膜设备的设计要求不断提高，现阶段对高真空镀膜技术的研究不多，特别对镀膜质量有更高要求的高真空镀膜技术和设备在国内的研究更少。 研究意义 真空室是实现执行真空镀膜工艺的直接场所，其结构设计是否合理不仅直接影响到安全可靠性，而且也直接关系到膜的质量和性能。因此设计出一套合理的高真空系统，对镀膜的成功起到关键的作用。 本文拟设计一套以扩散泵为主泵，旋片泵为前级泵的一体式高真空系统，来满足真空镀膜的要求。 目录 1.综述（真空镀膜的介绍，真空系统简介） 2.高真空系统的选型、密封及材料的选择 3.真空室的设计计算 4.高真空系统的设计计算 5.结论 真空室的设计 系统计算小结 1.真空室放气量Q0为1.75×10-2 Pa?L/s，由此计算出扩散泵的有效抽速Se为350L/s，粗算扩散泵的实际抽速S1为1225L/s。 2.根据粗算的抽速，初步选用沈阳蓝菱真空设备制造公司生产的K-200型高真空油扩散泵作为主泵，据此得到主泵入口的尺寸DN200，从而确定真空室出