9.3表面改性技术讲解.ppt

9.3.3 表面热处理 表面热处理是指仅对工件表层进行热处理，以改变其组织和性能的工艺。主要方法有感应加热淬火、火焰加热表面淬火、接触电阻加热淬火、电解液淬火、脉冲加热淬火、激光热处理和电子束加热处理。 9.3.4 化学热处理 化学热处理是将金属或合金工件置于一定温度的活性介质中保温，使一种或几种元素渗入它的表层，以改变其化学成分、组织和性能的热处理工艺。按渗入的元素可分为渗碳、渗氮、碳氮共渗、渗硼和渗金属等。渗入元素介质可以是固体、液体和气体，但都要经过介质中化学反应、外扩散、相界面化学反应和工件中扩散四个过程，具体方法有许多种。 9.3.5 等离子扩渗处理 等离子扩渗处理又称离子轰击热处理，是指在通常大气压力下的特定气氛中利用工件（阴极）和阳极之间产生的辉光放电进行热处理工艺。常见的处理方法有离子渗氮、离子渗碳、离子碳氮共渗等。 优点：渗剂简单、无公害，深层较深，脆性较小，工件变形小，对钢铁材料适用面广，工作周期短。 20世纪80年代,出现了一门新兴学科—微机械。 微机械是指可以批量制作的，集微型机械、微传感器、微能源、微制动器、微控制器、微执行器、信号处理、智能控制等于一体的微型装置或系统 美国称其为MEMS（Micro Eechanical System) 日本称其为(Micromachine,MM) 欧洲叫做微系统（Micr