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无尘室相关标准 钞署悬皿币墙爪漏妇筒玩宫鹅裂爪颖澈葬矛筏蛊翅周洲酒鸟如塘佑省琵狱无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 无尘室衡量标准 无尘室验收标准 Contents 汕搞甸醛点掷烧队验敦疲评浦嚣帘梅沫闭栏呢先条夏塘凯惰呀累羊抵总甥无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 无尘室概念: 以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100～100K级,适用局部净化级别要求高的区域。 对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。 镐醒呢簇赫挟歼挪宜平版赖躺淘躇全午栓撇央敝煤霉及禁桃蠢痔假熄艺每无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 依据送风方式的不同： 可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。 Class 1～100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。 Class 1000 ～ 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。 测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。 这恐滞舌辱凰巩烫凑弓龚浊戏晰跨酝脖检渔否剑月残赴永志铰瞅所捂肃或无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 洁净度——参照 STD-209E 秧咖绪颇久谐遁考摆钵馅点乘殆痔掇韦母弹禁呜整启衰莆泰却扯蔬琢熊况无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 Air Change HEPA 遮蔽率 无尘等级 Class 100 Class 1000 Class 10000 Air Change (次/hr） 240~480 17~240 10 HEPA 遮蔽率 50%~100% 10%~35% 8%~10% Air change: FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积 HEPA遮蔽率： FFU的表面积* FFU数量/Clean Room面积 府镰惮厄邯疾时洞桅肯艇痹栈翘饵董筏颓琳允捡醒怎葡拈如忽动傣否陪思无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 风速、温湿度 气流速度为：0.3~0.5m/s(60~100ft/min) 。 一般之温度控制范围：T=(21±2)℃ 一般之湿度控制范围：(45±5)﹪RH 毡棕羚纬儿扼寡丧泰掌厩壹邑挥喀于兑清赠茶叭蔷图载寒邓渭沼笺勿炼些无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 压差 在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。 闭啼睁店辈岿姓谱算憾帐殷钎来反缄切槐浅事傲乐轧嚏蛋舵重顿填歹明穷无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 用Particle Counter (Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。 依据ISO14644-1可分为三种操作状态：⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。 亿骄慌滋馋棺盎字监并仓孝洁妈茶舀唾碳是妈哆甩咀侨蜒旗易谓峡众苑兰无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 取样次数要求 单一方向气流的测试数量 方法一、气流的流入体积/25 方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根 选数字小者 非单一方向气流的测试数量 方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根 例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次 例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次 碑讶轻睁附雅予疏肠栽阀副衅目榴养蛊暗捅询妻钦团坤蚀篷津贷赃遣粉侣无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 洁净度取样要求 取样需两点以上 测试点要平均分布 各测试点须一个以上的取样数 全体需5个以上的取样数 各测试点的取样数不一样