纳米压痕划痕技术在表征薄膜涂层体系力学性能中的应用.ppt

纳米压痕/划痕技术在表征薄膜/涂层体系力学性能中的应用 主讲教师：黄勇力 实验目的 1．了解纳米压痕法测试材料力学性能的基本原理。 2．学习用纳米压痕技术表征薄膜/涂层体系的应力应变关系的原理和过程。 3．学习用纳米划痕/压痕技术表征薄膜/涂层体系的界面强度的原理和过程。 实验原理 1．纳米压痕法测试材料力学性能的基本原理 2．纳米压痕技术表征薄膜/涂层体系的应力应变关系的原理 3. 纳米划痕技术表征薄膜/涂层体系的界面强度的原理 4. 纳米压痕技术表征薄膜/涂层体系的界面强度的原理 纳米压痕法测试材料力学性能的基本原理 实验设备及材料 1．设备：纳米压痕仪 2．样品：电沉积镍镀层试样、PZT压电薄膜试样 3．丙酮清洗剂 纳米压痕测试的注意事项 实验报告要求 实验后每个人必须书写实验报告，报告内容包括： 1. 目的、内容和实验的基本原理； 2. 实验设备型号及有关参数，试样材质及几何尺寸； 3. 实验和模拟的结果及其分析； 4. 给出结论； 5. 实验体会； 6. 写明报告人班次、姓名及书写报告的日期。 结合纳米压痕实验与ABAQUS有限元分析，表征电沉积镍镀层材料的应力应变关系； 用纳米划痕技术表征PZT压电薄膜的界面强度； 用纳米压痕技术表征PZT压电薄膜的界面强度。 实验内容 压痕示意图 通常情况下，压痕过程包括两个步骤，即所谓的