功能薄膜及其沉积制备技术1概要.pptVIP

当在某些功能器件应用时，需制备底电极。这里所指的底电极实际就 是一种底材。往往同一种功能薄膜可能会应用于不同器件之中，因此，要针对不同器件的 应用，在考虑物理功能薄膜材料的同时，应考虑适合用于所设计的器件应用的衬底或底材 的选材。 铁电材料，是指具有铁电效应的一类材料，它是热释电材料的一个分支。在一些电介质晶体中，晶胞的结构使正负电荷重心不重合而出现电偶极矩，产生不等于零的电极化强度，使晶体具有自发极化，晶体的这种性质叫铁电性（ferroelectricity）。 所谓铁电材料，是指材料的晶体结构在不加外电场时就具有自发极化现象，其自发极化的方向能够被外加电场反转或重新定向。铁电材料的这种特性被称为“铁电现象”或“铁电效应”。与铁磁体的磁滞回线形状类似,所以人们把这类晶体称为铁电体(其实晶体中并不含有铁) 铁电现象是在一种名为钙钛矿的材料中发现的，而钙钛矿材料的晶格点阵中的离子，是在某一方向上被分离成的正负离子，也就是在钙钛矿晶体内部产生了一个电 耦极子。当给这种晶体加上一个电压时，这些耦极子就会在电场作用下排列。改变电压的方向，可使耦极子的方向反转。耦极子的这种可换向性，意味着它们可以在 记忆芯片上表示一个“信息单元”。而且，即使在电压断开时，这些耦极子也会保持在原来的位置，使铁电存储器不用电就能保存数据。这与大多数计算机中使用的 随机存取存储器的记忆芯片明显不同，后者需要用电才