【2017年整理】多孔硅电容变化规律及相关探测器研究.docVIP

- PAGE II- 多孔硅电容变化规律及相关探测器研究探索 Research of Porous silicon capacitance detector 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc231454741 摘 要 PAGEREF _Toc231454741 \h I HYPERLINK \l _Toc231454742 Abstract PAGEREF _Toc231454742 \h II HYPERLINK \l _Toc231454743 第一章 引 言 PAGEREF _Toc231454743 \h 1 HYPERLINK \l _Toc231454744 1.1 研究背景 PAGEREF _Toc231454744 \h 1 HYPERLINK \l _Toc231454745 1.2 选题的目的及意义 PAGEREF _Toc231454745 \h 1 HYPERLINK \l _Toc231454746 1.3 本文的组织结构 PAGEREF _Toc231454746 \h 2 HYPERLINK \l _Toc231454747 第二章 多孔硅的制备 PAGEREF _Toc231454747 \h 3 HYPERLINK \l _Toc231454748 2.1 多孔硅的分类 PAGEREF _Toc231454748 \h 3 HYPERLINK \l _Toc231454749 2.2 多孔硅的制成 PAGEREF _Toc231454749 \h 3 HYPERLINK \l _Toc231454750 2.3 多孔硅的性质 PAGEREF _Toc231454750 \h 4 HYPERLINK \l _Toc231454751 第三章 多孔硅的湿敏传感器原理 PAGEREF _Toc231454751 \h 5 HYPERLINK \l _Toc231454752 3.1 湿敏传感器研究现状 PAGEREF _Toc231454752 \h 5 HYPERLINK \l _Toc231454753 3.2 多孔硅湿度传感器的感湿机理 PAGEREF _Toc231454753 \h 5 HYPERLINK \l _Toc231454754 3.3 多孔硅湿度传感器的应用前景 PAGEREF _Toc231454754 \h 6 HYPERLINK \l _Toc231454755 第四章 实验内容及数据分析 PAGEREF _Toc231454755 \h 8 HYPERLINK \l _Toc231454756 4.1 多孔硅的制备 PAGEREF _Toc231454756 \h 8 HYPERLINK \l _Toc231454757 4.1.1 准备工作 PAGEREF _Toc231454757 \h 9 HYPERLINK \l _Toc231454758 4.1.2 实验 PAGEREF _Toc231454758 \h 10 HYPERLINK \l _Toc231454759 4.2 多孔硅湿敏特性测试 PAGEREF _Toc231454759 \h 13 HYPERLINK \l _Toc231454760 4.3 数据整合与分析 PAGEREF _Toc231454760 \h 14 HYPERLINK \l _Toc231454761 第五章 结论及展望 PAGEREF _Toc231454761 \h 16 HYPERLINK \l _Toc231454762 参考文献 PAGEREF _Toc231454762 \h 17 HYPERLINK \l _Toc231454763 致 谢 PAGEREF _Toc231454763 \h 18 摘 要 打印电子学中，运用喷墨打印机直接打出逻辑电路，即一个智能化的结构。在电路中掺入不一样的半导体材料就可以实现各种不同的功能，本文就是在叉指电容中掺入多孔硅制成简易的湿敏电容，从而形成一种结构简单，成本低，可用于大规模生产的器件。 在潮湿环境中多孔硅层的微孔对水分子的吸附可改变其介电常数和导电性能。为了解释变化介电常数的PS层和为优化结构提供理论依据，我们应用阳极氧化技术在单晶硅上生长一层多孔硅薄膜，将薄膜剥离，将多孔硅粉末填入叉指电容，制成二端结构的敏感元件。在不同湿度环境下，测出其电容值，得到多孔硅RH-C湿度特性曲线。以便于将多孔硅湿敏电容用在打印电子学中。 关键词：打印电子学，多孔硅，湿敏，电容传感器，RH-C曲线 Abstract Print