第一章薄膜制备的真空技术基础教材分析.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * （8）真空泵简介- 低温吸附泵 利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝＋吸附，使被抽空间的压力大大降低，从而获得并维持真空状态的抽气装置。低温泵抽气是一种储存式捕集排气，它所抽走的气体不是直接排到泵外，而是储留在泵内，一旦冷凝表面温度发生变化，它所抽走的气体又重新放出，而破坏泵的正常工作。 泵停止工作后，关闭高真空隔离阀，可以保持真空度不变。制冷剂不再产生冷量，冷头逐渐恢复常温。这时，冻结在冷板上的可凝性气体将蒸发，被活性炭吸附的非可凝性气体将解吸，它们都跑到气相中去，从而形成较高的压力。为安全及排出这些气体，在泵壳上设有再生抽气排出口，泵工作时，它用密封塞塞住。当停机时，泵壳内压力升高，通过内外压力差将密封塞顶开，壳内气体自动排放到大气。 （9）真空泵简介- 溅射离子泵 工作原理： 依靠高压阴极发射出的高速电子与残余气体分子相互碰撞后引起气体电离放电，而电离后的气体分子在高速撞击阴极时又会溅射出大量的Ti原子。由于Ti原子的活性很高，因而它将以吸附或化学反应的形式捕获大量的气体分子并在泵体内沉积下来，实现超高真空的获得。 工作参数： 实际抽速： 决定于泵体口径和阴极高压 极限真空：10-8 Pa 特点与使用 与旋片机械泵和分子泵配合使用，需要抽预真空(10-6 Pa)；无油污染；超高真空洁净系统；价格昂贵。适于抽除惰性气体。 溅射离子泵结构示意图 （9）真空泵简介- 溅射离子泵 溅射离子泵的抽速对不同的气体是不一样的。它所抽除的气体分子不会在高温下再被释放出来。同时，Ti电极的不断溅射使得离子泵的寿命是有一定限度的，它根据所使用的真空度范围不同溅射而变化很大。为了延长Ti电极的使用寿命，溅射离子泵多与其他泵串连起来使用于高真空系统之中。 1.4 真空测量技术 目前，真空技术所涉及的压强范围极广，因此找不出一种压强计能覆盖整个压强范围。 人们往往是针对具体的被测压强范围，设法用这样那样的手段来测量。换句话说，真空规是基于不同气体的物理参数而制造的，各有千秋。 那么，怎么的真空规好呢？适合于具体的工作条件的真空规，就是最好的。 1.4 真空测量技术 根据真空度范围不同，真空测量方法和原理各不同。 测量出的真空度与实际真空度之间可能由于温度的不同而存在误差，而且当气体处于分子流状态，真空室与测试点的气压也有所不同。 pc/pm = (Tc/Tm)1/2 －－Tc, Tm分别为真空室和测试点的温度 当气体的流动状态接近甚至达到粘滞流状态的情况下，温差造成的测量误差趋于0。 1.4 真空测量技术 真空测量元件常被称为真空规。 真空测量技术分为低真空和高真空测量。 常用的有三种方法： 1. 热偶真空规和皮拉尼真空规 2. 薄膜真空规 3. 电离真空规 （1）真空测量技术-热偶规或皮拉尼规 热偶规或皮拉尼规都是以气体的热导率随气体压力的变化为基础设计的，是低真空时最常用的测量手段。 对不同气体的测量结果不同，因不同气体分子的导热系数不同。 （1）真空测量技术-热偶规或皮拉尼规 热偶规工作原理：气体的热导率随气体压力变化（气体热导率随着气体压力 的增加而上升，因而热丝的温度会随着气体压力的上升而降低），通 过热电偶测出热丝的温度，也就相应的测出了环境的气体压强。 测量范围： 热偶规 0.1-100Pa 特点与使用： 属低真空测量，仪器结构简单，使用方便。 （1）真空测量技术-热偶规或皮拉尼规 皮拉尼工作原理：（电阻真空规）通过测量热丝的电阻随温度的变化实现 对真空度的测量。 测量范围： 皮拉尼 0.1Pa-0.1MPa 特点与使用： 属低真空测量，优缺点与热欧规相似。仪器结构简单， 使用方便。 。 （2）真空测量技术—电离真空规 工作原理：利用某种手段使进入规管中的部分气体分子发生电离，收集这些离子形成离子流；由于被测气体分子所产生的离子流在一定压力范围内与气体的压力呈现出正比关系，则通过测量离子流的大小就可以反映出被测气体的压力值。 测量范围： 10-9 - 1Pa