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第六章 电子束和离子束加工 6.1 电子束加工 一. 电子束加工原理和特点 （一）加工原理 ? 电子束加工是利用高速电子的冲击动能来加工工件的，如图6-1所示。在真空条件下，将具有很高速度和能量的电子束聚焦到被加工材料上，电子的动能绝大部分转变为热能，使材料局部瞬时熔融、汽化蒸发而去除。 控制电子束能量密度的大小和能量注入时间，就可以达到不同的加工目的。如只使材料局部加热就可进行电子束热处理；使材料局部熔化就可以进行电子束焊接；提高电子束能量密度，使材料熔化和汽化，就可进行打孔、切割等加工；利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行电子束光刻加工。 （二）电子束加工特点 (1) 可进行微细加工。 (2) 非接触式加工。 (3) 电子束的能量密度高，加工效率高。 （4） 整个加工过程便于实现自动化。 (5)加工在真空中进行，污染少，加工表面不易被氧化。 （6）电子束加工需要整套的专用设备和真空系统，价格较贵。 二. 电子束加工装置 （二）．真空系统 只有在高真空中，电子才能高速运动，此外，加工时的金属蒸汽会影响电子发射，产生不稳定现象。因此，需要不B9f地把加工中生产的金属蒸汽抽出去。 抽真空时，先用机械旋转泵把真空室抽至1.4一0.14Pa，然后由油扩散泵或祸轮分子泵抽至0.014—0.00014Pa的高真空