电阻式压力计教材分析.ppt

3.3.2 电阻式压力计[1] 电阻式压力计特点： 1.灵敏度高、测量范围广、频率响应快。 2.既可用于动态测量，又可用于静态测量。 3.结构简单，尺寸小，重量轻，易于实现小型化和集成化。 4.能在低温、高温、高压、强烈振动、核辐射和化学腐蚀等各种恶劣环境下可靠工作。 3.3.2.1 测量基本原理 金属导体或半导体材料制成的电阻体，其阻值可表示为： 式中 ρ—电阻的电阻率，Ω·m; L—电阻的轴向长度，m; A—电阻的横向截面积，m2; A.金属电阻应变片（丝式、箔式、薄膜式）a.种类与结构 B 半导体应变片 用于生产半导体应变片的材料有硅、锗、锑化铟、磷化镓砷化镓等，硅和锗由于压阻效应大，故多作为压阻式压力计的半导体材料。 半导体应变片按结构可分为： 1.体型应变片； 2.扩散性应变片； 3.薄膜型应变片。 扩散型半导体应变片 薄膜型半导体应变片 C 薄膜应变片 a 结构和原理 薄膜应变片在外力作用下，一方面材料发生几何形变引起材料的电阻发生变化；另一方面，因材料晶格变形等因素引起材料的电子自由程发生变化，导致材料的电阻率变化，从而使材料的电阻发生变化。 与传统的应变片相比，薄膜应变片具有如下特点： （1）稳定性好。 （2）使用寿命长。 （3）量程大、灵敏度高。 （4）温度系数小。 （5）工作温度范围宽。多层结构的溅射薄膜应变片的工作温度达到 -100~180℃ （6）成本低。 3.3.2.3 常用测量电路 A 转换电路 a 单臂桥路； b 半桥差动电路； c 全桥差动电路； b 半桥差动电路 c 全桥差动电路 B 温度补偿 3.3.2.4 性能指标 （1）应变片的电阻值(R0)。 （2）灵敏系数（K）。 通常把单位应变所引起的电阻相对变化成为应变片灵敏系数。目前，各种材料的灵敏系数都是由实验获得的，其计算公式为： (3)机械滞后。在一定温度下，应变从零到一定值之间变化，测出应变片电阻相对变化率，会出加载和卸载的特性曲线，则两条曲线最大的差值称为机械滞后。 3.3.2.5 典型电阻式压力计A 应变片式压力计 B 压阻式压力计a 压阻效应 b 结构 c 工作原理 d 特点 [1]张华，赵文柱主编《热工测量仪表》，冶金工业出版社，北京，2006。 [2]袁希光主编：《传感器技术手册》，国防工业出版社，北京，1986。 谢谢观看 * * 当电阻丝在拉力F的作用下，长度、截面、电阻率均会发生变化，这些都会引起电阻的变化，其相对变化量为： 式中，μ—电阻材料的泊松比 电阻轴向长度的相对变化量成为应变，一般用ε表示， 即 ，则电阻的相对变化量可写成： 由上式可知，电阻的变化取决于以下两个因素： （1） ,它是由几何尺寸变化引起的。这种电阻丝在外力 作用下发生机械形变，其电阻值随机发生变化的现象，叫应变效应。 （2） ,它是由电阻率变化引起的。这种固体受到压力作用后，其 晶格间距发生变化，电阻率随压力变化的现象成为压阻效应。 3.3.2.2 电阻应变片 （1）金属电阻应变片（以应变效应为主） （2）半导体应变片（以压阻效应为主） （3）薄膜应变片 基底的作用： （1）支持敏感栅，使它保持一定的几何形状； （2）将弹性体的表面应变准确的传送到敏感栅上； （3）使敏感栅与弹性体之间相互绝缘。 覆盖层的作用：保护敏感栅避免受外界的机械损伤，并防止环境温度、湿度的侵扰。 引线用来链接敏感栅和测量仪器。 b.材质 材料选择一般应同时兼顾一下几个方面的要求： 1.应变片灵敏系数K要大，且在较大范围内保持K为常数； 2.电阻温度系数要小，有较好的热稳定性； 3.电阻率和机械强度要高，工艺性能要好，易于加工成细丝及便于焊接等。 常用的金属电阻应变片材料有：适用于300℃以下的静态测量的康铜、铜镍合金；适用于4580℃以下静态测量或800℃以下动态测量的镍铬合金和镍铬铝合金。 这种应变片是将 P型杂质扩散到一个高电阻N型硅基底上，形成一层极薄的P型导电层,然后用超声波或热压焊法焊接引线而制成。 它的优点是稳定性好，机械滞后和蠕变小，电阻温度系数也比一般体型半导体应变片小一个数量级。缺点是由于存在P-N结，当温度升高时,绝缘电阻大为下降。新型固态压阻式传感器中的敏感元件