新型生物电极简介.pptxVIP

新型生物电极简介目录文献阅读报告实验进展后期实验安排一、文献阅读报告文献1: 丘形柔性神经微刺激电极阵列 实验采用光敏型聚酰亚胺Durimide 7510为微电极基质材料，加工中的支撑材料采用单面抛光硅基片。微电极的电学性能测试采用金属铂电极(213型)作为对位电极并采用Ag/AgCl 电极(232 型)作为参比电极。加工过程：(1)牺牲层:通过热蒸发在硅基表面形成约1μm厚的Al金属层,该Al金属层将作为牺牲层,用于最后从硅片上释放微电极(见图1(a))。(2)底绝缘层:旋涂聚酰亚胺光刻胶制作厚度约5μm的底绝缘层(见图1(b))。(3)lift-off工艺:旋涂光刻胶AZ4620,制作出种子层、电极导线和焊点的金属图形,溅射金属Ti/Au,厚度分别为10nm和200nm,剥离形成金属层(见图1(c))。(5)上绝缘层:旋涂PI 制作出厚度约为5μm的上绝缘层(见图1(d))。(6)电镀:在金电镀液中, 恒流电镀, 形成丘形电极刺激位点(见图1(e))。(7)释放:通过电化学腐蚀的方法, 腐蚀牺牲层Al , 将电极从硅片上释放下来(见图1(f))。电学性能测试（三电极系统）： 作为植入式器件, 为了尽量减小植入损伤, 微电极整体尺度应尽量小。从几何形状来看, 刺激位点为凸起结构, 可使刺激位点更接近靶神经细胞, 有利于实现有效刺激。同时, 丘形电极的凸起结构具有圆滑的几何外形,避