集成电路制造工艺与原理期末答卷.doc

深圳大学期末考试特殊考试方式 电子科学与技术学院 微电子科学与工程专业 集成电路工艺原理 期末成绩考核报告 姓名： 学号： 深圳大学考试答题纸 (以论文、报告等形式考核专用)二○一五～二○一六学年度第 一 学期 课程编号 1600730001 课程名称 集成电路工艺原理 主讲教师 杨靖 评分 学 号 姓 名 专业年级 教师评语： 要 求 本报告（作业）必须是完全独立完成，没有抄袭或节选选本课程其他同学的作业，如果确认是抄袭（抄袭和被抄袭）都要承担最终成绩为F的结果。 完成时间：2016，1，8，17:00之前 请详细解答以下每道问题！（回答时请每道题之间留有空隙、题之间清晰分开、每题标明题号；字迹工整、最好打印；图可以手画，但是，必须用规、具，线条清晰规范；坚决杜绝！卷面脏、乱、草） 1) 举例回答集成电路主要集成了哪些器件? 【5分】 2) 最少给出两个集成电路选用硅半导体的理由。 【5分】 3) 在清洗过程中用到的进入冲洗池的纯净水的电阻(率)在出水口处为多大时说明硅片已经被洗净?