原创力文档Future of microelectromechanical systems (MEMS)
Minhang Bao a, Weiyuan Wang b
? Fudan University, Shanghai. 200433 China
b Shanghai Institute of Metallurgy. Shanghai. 200050 China
Abstract
The development of microelectromechanical systems (MEMS) based on micromachining and microelectronics technolog
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