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操作程序： 一、操作前的試片置入 將SEM開關由 STANDBY(黃燈) 切換至 ON (綠燈)，此時電腦主機及螢幕自動開啟。 當電腦主機開機完成後，自動執行 Smart-SEM程式(桌面)，當程式開啟完畢後，輸入帳號及密碼。 當程式主畫面出現時，請按 Ctrl + G 將SEM Control介面叫出。 在SEM Control的 Vacuum下以滑鼠點vent鍵破真空(請參照SEM Control icon 介紹)，以便將試片置入。 確認氮氣瓶打開，並把氮氣閥門開啟，當壓力計到達藍線時，即可將chamber拉出，取出試片holder。 注意：當拉出chamber請確認stage已降低至底，以確認stage不會和電子槍相撞。 將樣品放置至Holder： 樣品大小不宜超過試片Holder尺寸(直徑5cm的圓盤)。 將樣品前處理完後置於試片Holder，並確認樣品固定好。 另有較小的試片holder提供於小樣品的放置。(小holder固定在大holder上。) 將試片holder放回chamber後，按下SEM Control 介面中 Vacuum 下的Pump抽真空。 抽真空前請關閉氮氣閥，並將chamber門輕輕壓緊以利真空度下降。 在抽真空的同時可以利用滑鼠左鍵點選System Vacuum切換壓力的單位。螢幕右下方的Vac：顯示為紅色一撇，表示真空度未達標準還不能使用SEM。 當真空度下降至5.17×10-3Pa時，此時螢幕右下方的Vac：顯示為綠色勾勾，表示真空度已達標準。 由於真空度已達標準，因此此時才可以開啟電子束。開啟方式為將滑鼠移至螢幕右下方Fil I：後點選左鍵或右鍵皆可，會跳出Beam on後點選。 點選Beam on後需梢待片刻等電子束開啟，螢幕下方則會顯示電子束開啟的進度。 當電子束開啟完成後，螢幕右下方顯示Fil I：以及EHT：皆為綠色勾勾狀態。此時由於電子束已開啟，同時在Vac：會顯示灰色，表示此時無法破真空，為保護機器的一個措施。 SEM狀態已完全開啟，可以開始操作。 若需存取SEM中的圖片，請按 Ctrl + G 將SEM Control介面叫出。在Scanning下選取Scan Speed=6，Freeze on=End Frame，Noise Reduction=Line Avg.，後等待螢幕右下方橘燈轉換成紅燈，使用滑鼠右鍵選取圖片格式為TIFF格式後存檔。 SEM操作時使用搖桿介紹： SEM操作時常用的icon介紹： SEM主畫面上方常用ICON的介紹。 將滑鼠中鍵點此icon，則會自動對焦。(適用低倍率) 將滑鼠左鍵點此icon，按住滑鼠左鍵左右滑動即調整其倍率。 按住滑鼠中鍵左右滑動即調整其焦距。 將滑鼠中鍵點此icon後，則會自動調整亮度、對比。 將滑鼠左鍵點此icon後，按住滑鼠左鍵左右滑動即調整其亮度。 按住滑鼠中鍵左右滑動即調整其對比。 實驗結束步驟： 滑鼠左鍵點選，滑動滑鼠將倍率降至最低。 將stage的Z軸移至最下方，確保stage遠離電子槍保持安全距離。 選取螢幕右下方EHT：點選滑鼠左鍵，選取shut down後靜待程式關閉電子槍電子束。 請按 Ctrl + G 將SEM Control介面叫出，在Vacuum下點選Vent鍵破真空。 再次打開氮氣瓶，並把氮氣閥門開啟，當壓力計到達藍線時，即可將chamber拉出，取出試片holder。 將試片holder放回chamber後，按下SEM Control 介面中 Vacuum 下的Pump抽真空。 當真空度下降至5.17×10-3Pa時，螢幕右下方的Vac：顯示為綠色勾勾，即可將電腦關機。 確定電腦已完全關機，將SEM開關由 ON (綠燈) 切換至 STANDBY(黃燈)，填寫儀器使用紀錄表。 輸入帳號 輸入密碼 氮氣閥門 (關閉) 開啟 試片Holder 試片Holder平台 取出試片holder 試片可依各人需求固定好放置於試片Holder上 試片 銅膠帶 試片Holder (D = 5cm) 小試片Holder ：調整倍率、焦距。 ：調整亮度、對比。 ：調整相差 ：可在電腦螢幕上直接調整試片位置(適用於微調)。 ：選取螢幕上小區塊進行對焦動作。 .：CCD/SEM mode之間的切換 滑鼠左鍵點選