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中国工程物理研究院超精密加工技术 重点实验室 2013年开放基金课题指南 超精密加工技术重点实验室管理办公室 编制 二〇一二年十一月目 录 一、 2013年开放基金重点课题指南 1 课题1： 紧凑型射频波导传输线研究 1 课题2： KDP晶体磁流变抛光过程超洁净清洗方法与装置研究 4 课题3： 金属薄膜热复合行为研究 5 二、 2013年开放基金面上课题指南 6 课题1： 基于石墨烯的THz探测器研究 6 课题2： 亚微米级氧化铈抛光粉制备技术研究 7 课题3： 低G值MEMS加速度计关键技术研究 8 课题4： 二硫化铁薄膜化加工技术及其电化学性能研究 9 课题5： 微细金刚石刀具刃口精密成形关键技术研究 10 课题6： K9材料表面与抛光液间微观相互作用机制研究 12 课题7： 磁流变抛光液绿色再制造关键技术研究 13 课题8： 低速高频响直线电机驱动精密定位平台关键技术研究 14 课题9： 强激光光学元件气囊抛光技术研究 17 三、 其它资助项目 19 四、 开放基金指南申请与评审 19 （一） 开放基金课题申请人条件 19 （二） 开放基金课题申请程序 19 （三） 开放基金课题评审程序 19 五、 实验室管理办公室联系方式 20 六、 附件 21 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室2013年开放基金课题指南 超精密加工技术重点实验室（以下简称“实验室”）隶属中国工程物理研究院（以下简称“中物院”）,是中物院超精密加工科技方向基础性、创新性研究的责任主体。实验室成员单位为电子工程研究所、机械制造工艺研究所、激光聚变研究中心，挂靠单位为机械制造工艺研究所，主要从事超精密加工机理、工艺、装备与检测等基础研究工作。 为进一步推动开放、合作与交流，实验室面向全国超精密加工技术领域的研究与工程技术人员设立开放基金，支持国内优势单位与院内单位共同组建联合研究团队开展相关领域的基础、前沿性研究工作。创立本基金的目的在于，引导和调动全国高等院校、科研机构的科技人员积极参与超精密加工技术领域的基础性研究，发现新现象、新规律，拓展新方向，建立高水平学术交流与合作渠道，培养超精密加工领域科技人才。 开放基金课题分为开放基金重点课题及开放基金面上课题两类。 2013年开放基金重点课题指南 紧凑型射频波导传输线研究 科学意义和需求背景： 移相器是相控阵雷达和卫星通讯系统的关键部件，在电扫描相控阵雷达天线系统中有广泛应用，传统类型移相器（如铁氧体或二极管型），其体积相对较大、工作频带窄、损耗大、不易集成、成本高等，这些因素限制了这类移相器的进一步应用。RF MEMS移相器的出现开辟了移相器技术研究的新途径，MEMS移相器具有频带宽、损耗小、成本低、超小型化、易于与IC、MM IC电路集成等特点，对现代雷达和通信系统的发展具有重要的意义。 RF MEMS移相器一般由MEMS开关、传输线、馈电单元等基本单位构成。MEMS开关是移相器的切换功能单元，而共面波导传输线则是为了让移相器实现高集成的低损连接，在现代单片微波集成电路中应用广泛。 对于射频器件，除了性能上的要求，对于它的小型化也提出了要求，作为射频器件的基本组成部分的传输线也要适应这个发展趋势。传统共面波导在结构上有很多优点，但是在实际应用中也存在着局限性，比如在较高或较低阻抗时传输线导体损耗较大，传输线整体损耗随着频率的升高增加很快等，这些不足都极大地限制着共面波导的应用。如何改进设计，减小传输线的尺寸以适应电子设备小型化的发展趋势，是目前RF MEMS研究的一个热点问题。 随着微机械(MEMS)技术的不断发展，出现了一些共面波导的改进结构，典型的有重叠式共面波导(OCPW)、提升式共面波导(ECPW)、桥式结构共面波导等，这些设计从不同角度出发，一定程度上改进了共面波导的性能，比如降低导体损耗和拓宽可用阻抗范同。但是上述改进的共面波导结构并不能很好地满足小型化的要求，因此，如何通过波导结构的创新设计进一步减小其它体积，并通过有针对性的匹配设计满足特定波段的信号传输要求，也是RF MEMS研究中亟待解决的问题。 综上所述，本项目拟提出一种紧凑型传输线结构设计，在UV-LIGA工艺基础上，对传统共面波导结构进行改进，设计新型共面波导结构，采用高频电磁场仿真软件对其性能进行模拟和分析，在仿真优化的基础上结合MEMS技术进行加工制作，并与传统共面波导结构进行比较，研制体积小且高效的共面波导传输线。 拟解决的主要问题： 研究新型叉指共面波导的结构、材料、工艺对波导传输可靠性的影响； 掌握基于UV-LIGA工艺的、与RF MEMS移相器整体工艺兼容的紧凑型射频波导传输线的工艺流程； 研制新型叉指共面波导结构的紧凑型射频波导传输线原理实验样品； 测试样品的传输性