模具表面处理技术概要.pptVIP

第四节 模具表面的气相沉积技术 气相沉积技术 是将含有沉积元素的气相物质输送到工件表面，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层的工艺方法。 ?气相沉积在工件表面覆盖一层厚度为0.5-10um的过渡族元素（Ti,V,Cr,W,Nb等)的碳、氧、氮、硼化合物或单一的金属及非金属涂层。 按沉积的主要属性可分为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD），等离子体被引入化学气体沉积技术后，便形成等离子化学气相沉积（PCVD）。 气相沉积的特点 1、工件表面具有较高的硬度（如TiC的硬度为3200-4100HV，TiN的硬度为2450HV ），低的摩擦系数和自润滑性； 2、高的熔点（ TiC的熔点为3160℃，TiN的熔点为2950℃ ），高的化学稳定性及抗粘结能力； 3、高的耐腐蚀能力和抗高温氧化能力。 一、化学气相沉积 化学气相沉积是利用气态物质在一定温度在工件表面上进行化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，形成固体沉积膜的的工艺技术。 化学气相沉积通常称为CVD（Chemical vapor deposition的简称）。 CVD技术是一种热化学反应过程，是在特定的温度下，对经过特别处理的零件（包括硬质合金和工具钢）所进行的气态化学反应，即利用含有