净化度研究报告.docxVIP

宁波江丰电子材料有限公司颗粒度变化影响因素研究报告净化室2012/4/18星期三本文研究了靶材净化室内净化度值大小的影响因素，并通过采取措施从根本上解决了影响净化度值大小的因素，特别是验证了设备及其他因素对净化度值大小的影响，使靶材净化室内净化度值得到了明显地提高，保证了产品的质量。目录一概述1二研究步骤12．1　净化室概述12．2　测量静态净化度值，验证净化系统本身的净化能力22．3　分析其他因素影响2三研究内容与结果分析33．1　净化室设备运转的数量对净化度值的影响33．2　净化室内作业人员数量对净化度值的影响43．3　净化室内工艺卫生对净化度值的影响43．4　压缩空气的质量对净化度值的影响53．5　应急门开启的频繁程度对净化度值的影响5四结论及建议64．1　结论64．2　建议64．2．1　从设备的角度上考虑64．2．2　从工艺及车间管理角度上考虑6五附录7一概述净化室使用过程中净化度曾一度不稳定，而随着产品数量的不断增加，对靶材清洗环境的净化度要求也越来越高。本课题的主要任务是找出影响净化室环境尘埃含量超标的主要原因，并提出解决办法。　　靶材清洗环境中的尘埃颗粒含量是影响产品生产质量的一个非常重要的工艺指标。而影响环境净化度值的因素很多，主要可分为净化设施调整及设备、人员分布等客观因素和环境维护管理方面的人为因素两大类。净化室启用后净化度值分布不均衡，个别工作区域状态差时直径≥0．3μm的尘埃颗粒竟高达200～300颗粒／ft3以上，对靶材清洗包装质量有一定的影响。因此必须找出影响净化室净化度值的原因并提出改进措施，使净化室的尘埃颗粒达到工艺要求（百级净化度直径≥0．3μm的尘埃290粒／ft3以下、千级净化度直径≥0．3μm的尘埃2900粒／ft3以下），以确保我公司产品的内在质量。 二研究步骤2．1　净化室概述 新净化室占地面积约80m2，主要设备有日本自动清洗机2台、手动清洗机4台（2台300mm专用）、干燥箱4台（2台国产、2台日本产）、包装机2台，具体布置如下图：百级净化室千级净化室图1：净化室布置图2．2　测量静态净化度值，验证净化系统本身的净化能力2012年4月10日，打扫完净化室卫生，空调开启30min后操作者未进入净化室，任意抽测五个点，测量结果如表1，从测量结果来看，证明净化系统本身的能力是可以满足本公司的净化要求。表1：系统自净能力测试值测量点12345平均值千级230703607080162百级705010407048（注：百级≥0．3μm的尘埃290粒／ft3以下；千级≥0．3μm的尘埃2900粒／ft3以下；）图2：测试点分布2．3　分析其他因素影响通过对不同条件下净化室各处如图2，净化度值测试结果的对比，研究并确定净化系统、设备、压缩空气、净化室卫生维护、净化室设备人员数量、应急门开启等因素对净化度值的影响程度，并通过分析找出影响净化度值的主要因素。三研究内容与结果分析3．1　净化室设备运转的数量对净化度值的影响从测量的结果来看，当净化室设备运转的数量较少时净化度值较好，当净化室设备运转的数量较多时净化度值较差，因而净化室设备运转的数量多少直接影响净化室的净化度值大小。净化室设备运转的数量多少与所测的净化度值大小(以“百级”为例)表2：设备运转数对净化度值影响表测量点组数次数12345平均设备状态一1705010407045.93333无设备开启270401030703705094060二1806020806060.66667组一+2号自动清洗机开启28060309070360502010050三19050301108077.33333组二+手动清洗21006040110903906030120100四110040301109079.33333组三+手动清洗210060501001003906030120110五1110404011012082.6666667组四+干燥箱（日本）210050501201003906030110110六1110706010012093.3333333组五+干燥箱（国产）2110805012012031007070110110七1110708010010094.6666667组六+氩气抢使用2120807011012031007070110110八1100906010011096组七+包装机2120807010012031008090110110（注：数据以“百级”净化室测量为准，且颗粒度检测仪误差范围在十位，第一组到第八组数据净化室只有测试者一人）3．2　净化室内作业人员数量对净化度值的影响净化室内人员数量与测量的净化度值的大小有一定关系，当人数为越多颗粒度值越大，特别在设备附近，人员数量的增加越为明显； 表3：净化室人员数量对净化度值的影响测量点组数次数12