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八英寸直拉单晶棒少子寿命检测 Eight inch czochralski single crystal rods ShaoZi life test  目录： 一、采样及样品处理 二、检测依据及设备 三、检测原理及作业指导书 四、检测环境及影响因素 五、检测数据分析 六、检测报告书 一、采样及样品处理 1、采样：单晶硅片 单晶片：取单晶棒头部、中部、尾部各三片，要具有代表性。 2、样品处理： （1）、试样待测面用320#（28~42μm）或W28(20~28μm)金刚砂研磨或喷砂。 （2）、 对圆片试样，用5~14μm氧化铝或金刚砂研磨上下表面。 二、检测依据及设备 1、检测依据： 2、检测设备: 三、检测原理及作业指导书 一、检测原理： 光电导衰退法基本原理 ： 光照射→ 非平衡载流子→ 电导率→电阻率→电流→电压→电压衰减规律→少数载流子的寿命。 方法过程:直流光电导法和高频光电导法测量寿命的方法都在光脉冲照射下产生非平衡少数载流子衰减，而得到电压或电流的衰减信号，再检测这种电压或电流信号的衰减规律，从而测出样品的非平衡载流子的寿命。 1、直流光电导衰退法 对于N型半导体经推导： 对于P型半导体经推导： 2、高频光电导衰退法 无光照的电流 ： i=Imsinωt 有光照的电流： i=(Im+ΔI0)sinωt 光照停止的电流 ： i=(Im+ΔI0exp(-t/τ))sinωt 串联电阻电压： V=(Vm+ΔV0exp(-t/τ))sinωt 2、作业指导书 （1）方法原理：高频光电导衰退法 （2）仪器设备 1.614-A2.1KVA电子交流稳压器 2.GGS-3、SR8二踪示波器 3.少子寿命仪 （3）过程控制（操作步骤） 1.开启稳压器：接通614-A2. lKVA电子交流稳压器，大约5分钟后，稳压器输出稳定在220伏时，方可接通GGS-3及SR8二踪示波器。 2.开启寿命仪 3.SR8二踪示波器 4.接通示波器电源，当示波器萤光屏基线上出现基点，调节“↑↓”位移旋钮，把基点调到基线上。 5.选用适当的微调扫描钮“t/div”及微调“v/div”和“调谐”钮。 6.旋转X轴水平位移“”旋钮，使曲线与Y轴相交于e点(e为2.72格处红点位置)。 7.如果曲线头部出现平顶现象在曲线无畸变的情况下进行测量。 8.当“t/div”和“v/div”及“调谐”都适当时，曲线尾部高于基线，这时可加底光照(将GGS-3寿命仪上的“底光”钮按下)，判断曲线是否有陷阱。　9.填报寿命值的规定(暂行)： 10.特殊情况，按要求测量报数。 11.用已知寿命值的样块检查测量系统是否处于正常状态(操作与正常测试同)。 12.此寿命仪只测常规单晶产品的寿命。13.此设备最低值的报数为：4μs。 四、检测环境及影响因素 1、检测环境：干燥、常温 2、影响因素：体复合的条件； 小注入的条件； 样品内电场强度和光照面积； 陷阱效应； 光生伏特效应。 五、检测数据分析 六、检测报告书 * * 生产单位 乐山嘉源有限公司 样品数量 3片 检验报告 检验结论 符合合同要求 主检人员：徐航、赵仕海 质检机构（公章） 审核人员：陈莉、何霞 批准人员： 签发日期：2013年9月34日 检测项目 直拉单晶片电阻率的检测 规格型号 直径：50mm 厚度：8.1mm单晶片 委托单位及地址 乐山职业技术学院 产品等级 优等品 乐山市市中区肖坝路108号 抽样基数 单晶棒头中尾各三片 检验依据 国标GB/T1552-1995 抽/送样日期 2013-9-24 检验状态 符合检验要求 检验日期 2013-9-24 检验类别 委托检验 检验结果 少子寿命为128 S *