微位移机构题材.ppt

广义机构 ——微位移机构 PPT Design By 武俊峰 组员：鱼博、马万里、祁晓敏、武俊峰 一、微位移技术介绍 1、微位移技术是超精密加工及检测中的一项关键技术 2、微位移技术包括微微位移机构、检测装置和控制系统 微位移技术 微位移机构 检测装置 控制系统 微位移机构：微位移机构是指行程小(一般小于毫米级)、灵敏度和精度高(微米、纳米级)的机构。是微位移系统的核心。 检测装置：用传感器按一定规律将微位移机构的位移输出转换成电量输出。 控制系统：对动态性能掌控、补偿和修正材质和机理的缺陷、反馈调节驱动器的非线性等不良特性等。它的开发与研究对微位移技术的应用和推广至关重要。 应用领域：电子技术、宇航、生物、医学工程等。 二、微位移机构 组成：微位移驱动器、微动工作台 作用：既可以作为微进给和微调节部件也可作 为工艺系统动、静态误差补偿的关键部件。 分类： （1）直线电机式微位移机构 （2）机械传动式微位移机构 （3）扭转摩擦传动式微位移机构 （4）弹性变形传动式微位移机构 （5）压电元件与电致伸缩式微位移机构 （6）热变形式微位移机构 （7）磁致伸缩式微位移机构 1、直线电动式微位移机