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第五节透射电子显微分析Transmission Electron Microanalysis （TEM） 透射电子显微分析是利用透射电子对试样的显微形貌和显微结构进行分析的一种方法，是材料测试的一种重要手段。 本节主要内容 一. 透射电镜的结构 二. 透射电镜的主要性能指标 三. 电子衍射 四. 透射电镜图像的衬度 五. 透射电镜样品的制备方法 六. 复型图像分析中应注意的问题 一. 透射电镜的结构 电子照明系统 成像放大系统 图像显示及观察记录系统 样品室和样品台 真空系统 电气系统 观察窗与荧光屏 TEM与SEM的比较 光学显微镜与TEM的光路比较 二. 透射电镜的主要性能指标 （一）分辨率 分辨率是透射电镜的主要性能指标，它表征透射电镜显示超显微结构细节的能力。透射电镜的分辨率用两种指标表示：即点分辨率和线分辨率。点分辨率表示电镜能分辨的两个点之间的最小距离，线分辨率是指电镜能分辨的两条线之间的最小距离。 目前，透射电镜的点分辨率为2.04?，线分辨率为1.04?。 （二）放大倍数 透射电镜的放大倍数变化范围为100倍~80万倍，并连续可调。超级电子显微镜的放大倍数可达1500万倍。 （三）加速电压 加速电压是指电子枪的阳极相对于阴极的电位差。它决定电子枪发射电子的波长和能量。加速电压高，电子束的能量大，穿透能力强，可以观察较厚的试样。普通透射电镜的最高加速电压为100~200KV。超高压透射电镜的加速电压高达3000KV。 三. 电子衍射 电子衍射的概念 衍射的条件和衍射方向 电子衍射的基本原理 单晶电子衍射原理和衍射花样 多晶电子的衍射原理和衍射花样 电子衍射的概念 高速运动的入射电子碰到原子时会发生散射，包括弹性散射和非弹性散射。弹性散射电子束在某些方向上迭加增强形成强度较大衍射线，这种现象就是电子衍射。 电子衍射的条件和方向 电子衍射与X射线的衍射一样，必须满足布拉格方程或劳埃方程。衍射方向遵守光学镜面反射定律。 电子衍射的基本原理 单晶的电子衍射原理 入射电子束照射到不同方向的晶面上，如果某些晶面满足衍射条件就会产生电子衍射。一个面网族产生一个衍射斑，多个面网族发生衍射就会形成多个衍射斑。 单晶的电子衍射花样 高岭石的单晶电子衍射花样 多晶电子衍射原理 如果某晶面如（401）满足衍射条件产生衍射，由许多晶粒的同名晶面产生的衍射线将形成一个以入射电子束为轴，半锥角为2θ的衍射圆锥。这个衍射圆锥与荧光屏或照相底板相交就会形成一个衍射环。 多晶的电子衍射花样 一个同名晶面族产生的衍射线形成一个衍射圆锥。多个不同名晶面族产生的衍射线将形成多个衍射圆锥。不同名晶面族的衍射圆锥的半锥角2?不同，但各衍射圆锥均共顶、共轴。 多个共顶、共轴的衍射圆锥与垂直于入射电子束的荧光屏或照相底板相交，其交线为多个同心圆（称为衍射圆环）。故多晶的电子衍射花样是由多个同心圆环组成的多环图。 金粉的衍射花样 透射电镜图像的衬度 透射电镜的图像是由于透过试样各点参与成像的电子强度不同所造成的。 透射电镜图像的衬度主要有散射（质量-厚度）衬度、衍射衬度和相位衬度。不同图像衬度的形成机理是不相同的。 （一）散射衬度 散射衬度是由于试样不同部位对入射电子的散射能力不同所形成的衬度。 1．电子的散射与散射截面 当聚焦电子束照射到试样上时，入射电子将受到试样原子的作用而改变其运动方向，即发生散射，包括弹性散射和非弹性散射。 散射电子偏离入射方向的角度称为电子的散射角。电子受到某种原子的作用，散射角大于某一角度α的几率称为该原子的散射截面，通常用σα来表示。 原子散射截面越大，说明该原子对电子的散射能力越强。 1．电子的散射与散射截面 原子的散射截面σa包含了弹性散射截面σe和非弹性散射截面σi，即σa=σe+σi。散射截面主要与原子序数Z和加速电压V有关，其中 2．散射衬度的形成 （1）物质组成不同对散射衬度的影响 原子序数越大，散射截面越大，通过物镜光栏参与成像的电子越少，所成的图像亮度越小。 如右图所示，由于试样不同部位的物质组成不同，A、B、C三点对入射电子的散射能力不同，散射截面不同σA＜σB＜σC，通过物镜光栏参与成像的电子数就不相同，IA＞IB＞IC，所成电子像的亮度也就不同，A′最亮，B′次之，C′最暗，这样就形成了具有明暗反差的电子图像。 明场像：让散射角较小的电子通过物镜光栏所成的像称为明场像。在明场像中，散射截面越大的物点，亮度越