浅谈液态感光油墨.docVIP

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  • 2017-02-13 发布于重庆
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浅谈液态感光油墨

浅谈液态感光油墨 液态感光油墨应用工艺流程图:   基板的表面处理-- 涂布(丝印)--预烘--曝光--显影--干燥--检查--蚀刻--褪膜--检查 (备注:内层板)   基板的表面处理-- 涂布(丝印)--预烘--曝光--显影--干燥--检查--电镀--褪膜--蚀刻--检查 (备注:外层板)   一.液态光致抗蚀剂( Liquid Photoresist)   液态光致抗蚀剂(简称湿膜)是由感光性树脂,配合感光剂、色料、填料及溶剂等制成,经光照射后产生光聚合反应而得到图形,属负性感光聚合型。与传统抗蚀油墨及干膜相比具有如下特点:   a)不需要制丝网模版。采用底片接触曝光成像(Contact Printig),可避免网印所带来的渗透、污点、阴影、图像失真等缺陷。解像度(Resolution)大大提高,传统油墨解像度为200um,湿膜可达40um。   b)由于是光固化反应结膜,其膜的密贴性、结合性、抗蚀能力(Etch Resistance)及其抗电镀能力比传统油墨好。   c)湿膜涂布方式灵活、多样,工艺操作性强,易于掌握。   d)与干膜相比,液态湿膜与基板密贴性好,可填充铜箔表面轻微的凹坑、划痕等缺陷。再则湿膜薄可达5~10um,只有干膜的1/3左右,而且湿膜上层没有覆盖膜(在干膜上层覆盖有约为25um厚的聚酯盖膜),故其图形

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