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压电式传感器的等效电路 在实际应用中由于需要和测量电路相连接，因此还须考虑连接电缆的等效电容、放大器的输入电阻、输入电容以及压电传感器的泄漏电阻等因素的影响，因此，压电传感器的等效电路如下图所示。 由于后续电路的输入阻抗不可能无穷大，压电元件本身也存在漏电阻，极板上的电荷由于放电而无法保持不变，从而造成测量误差。因此不宜利用压电式传感器测量静态信号。当测量动态信号时，曲于交变电荷变化快，通电量相对较小，故压电式传感器适宜做动态测量。 等效为电压信号源 等效为电荷信号源 压电式传感器的测量电路 电荷放大器实际上是一个具有深度电容负反馈的高增益放大器，其等效电路如图所示。图中K是放大器的开环增益，若放大器的开环增益足够高，则运算放大器的输入端的电位接近地电位。由于放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放大器的输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有电流，电荷q只对反馈电容Cf充电，充电电压接近等于放大器的输出电压，即 压电式传感器的输出可以是电压，也可以是电荷量。因此前置放大器有电压放大器和电荷放大器两种形式。电压放大器可采用高输入阻抗的比例放大器，其电路比较简单，但输出受到连接电缆对地电容的影响。目前常采用电荷放大器作前置放大器。 电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆、电容等均无关系，因此只要保持反馈电容的数值不变，就可以得到与电荷量q变化成线性关系的输出电压。 压电片的并联接法 （Parallel connection of piezoelectric ceramics slice) 压电陶瓷多制成片状，称为压电片。压电片通常是两片（或两片以上）粘结在一起，一般常用的是并联接法。其总面积是单片的两倍，极板上的总电荷Q并为单片电荷Q的两倍。 III. Application of piezoelectric sensor(压电式传感器的应用) 1. 压电式测力传感器 下页图 是压电式单向测力传感器的结构图, 它主要由石英晶片、 绝缘套、电极、上盖及基座等组成。  传感器上盖为传力元件, 它的外缘壁厚为0.1～0.5mm, 当外力作用时, 它将产生弹性变形, 将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy切型, 利用其纵向压电效应, 通过d11实现力—电转换。 石英晶片的尺寸为φ8×1 mm。该传感器的测力范围为0～500g, 最小分辨率为0.01, 固有频率为50～60 kHz, 整个传感器重10g。 2. 压电式加速度传感器 下页是一种压电式加速度传感器的结构图。 它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。 整个部件装在外壳内, 并用螺栓加以固定。  当加速度传感器和被测物一起受到冲击振动时, 压电元件受质量块惯性力的作用, 根据牛顿第二定律, 此惯性力是加速度的函数, 即 F=m·a  式中: F——质量块产生的惯性力;  m——质量块的质量;  a——加速度。 此时惯性力F作用于压电元件上, 因而产生电荷q, 当传感器选定后, m为常数, 则传感器输出电荷为  q=d11F=d11ma  与加速度a成正比。因此, 测得加速度传感器输出的电荷便可知加速度的大小。  压电式振动加速度传感器的 结构及外形 横向振动测振器 纵向振动测振器 压电振动加速度传感器的性能指标（以某小型“内装IC的压电加速度传感器”为例） 技术指标：灵敏度：500mV/g 量程：10g 频率范围：4-4000Hz安装谐振点:15kHz 分辨力：0.00004g 重量：40g 安装螺纹：M5 mm 线性：≤1% 压电加速度传感器的安装及使用 a)双头螺丝固定 b)磁铁吸附 c)胶水粘结 d)手持探针式 1—压电式加速度传感器 2—双头螺栓 3—磁钢 4—粘接剂 5—顶针 3 压电式金属加工切削力测量  下图 是利用压电陶瓷传感器测量刀具切削力的示意图。 由于压电陶瓷元件的自振频率高, 特别适合测量变化剧烈的载荷。图中压电传感器位于车刀前部的下方, 当进行切削加工时, 切削力通过刀具传给压电传感器, 压电传