压电式传感器.ppt

第5章 压电式传感器 概述 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。 当某些材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽、灵敏度高、工作可靠、测量范围广等特点，因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 5.1 压电效应及压电材料 石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。前者为晶体，后者为极化处理的多晶体。 他们都具有较大的压电常数，机械性能良好，时间稳定性好，温度稳定性好等特性，所以是较理想的压电材料。 5.1 压电效应及压电材料 压电材料的主要特性参数有：  （1） 压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出的灵敏度。 （2） 弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 （3） 介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 (4） 机械耦合系数：在压电效应中，其值等于转换 5.1 压电效应及压电材料 输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根； 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻压电材料的绝缘电阻：将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 （6） 居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 5.1 压电效应及压电材料 若从晶体上沿y方向切下一块如下图所示晶片，当在电轴方向施加作用力 时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷Qx，其大小为 式中： ——x方向受力的压电系数； ——作用力。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力 ，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷Qy，其大小为： 5.1 压电效应及压电材料 并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上，正电荷集中在两侧的电极上，传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大，故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。 串联方法正电荷集中于上极板，负电荷集中于下极板，传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大，故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 当压电晶体承受应力作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。故可把压电传感器看成一个电荷源与一个电容并联的电荷发生器。 值得注意的是： 5.3 压电式传感器的测量电路 5.3 压电式传感器的测量电路 下图给出了一个电压放大器的具体电路。它具有很高的输入阻抗(1000MΩ)和很低的输出阻抗(100?)，因此使用该阻抗变换器可将高阻抗的压电传感器与一般放大器匹配。 5.3 压电式传感器的测量电路 BG1为MOS场效应管，做阻抗变换，R3≥100M?； BG2管对输入端形成负反馈，以进一步提高输入阻抗。R4既是BG1的源极接地电阻，也是BG2的负载电阻，R4上的交变电压通过C2反馈到场效应管BG1的输入端，保证较高的交流输入阻抗。由BG1构成的输入极，其输入阻抗为: 引进BG2，构成第二级对第一级负反馈后，其输入阻抗为: 式中Au是BG1源极输出器的电压增益，其值接近1。 5.3 压电式传感器的测量电路 所以 可以提高到几百到几千兆欧。由BG1所构成的源极输出器，其输出阻抗为 式中 为场效应管的跨导。 电压放大器的应用具有一定的应用限制，压电式传感器在与电压放大器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。不过由于固态电子器件和集