电子显微镜分析及研究.docxVIP

蔡司EVO18电镜分析 三．仪器概述 3.1. 总体描述： 　蔡司最新推出的EVO 18, 具有处理所有类型材料能力的分析显微镜为您提供卓越的成像质量。配备X射线能谱仪接口，并有领先的X射线几何条件对所有样品提供了最精确的分析。对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。 扫描电子显微镜（SEMScanning electron microscope）的电子束不穿过样品，仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方，然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。显微镜观察的是这些每个点散射出来的电子，放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子，通过放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度。显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描，这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像，这与工业电视机的工作原理相类似。由于这样的显微镜中电子不必透射样本，因此其电子加速的电压不必非常高。 扫描式电子显微镜的分辨率主要决定于样品表面上电子束的直径。放大倍数是显像管上扫描幅度与样品上扫描幅度之比，可从几十倍连续地变化到几十万倍。扫描式电子显微镜不需要很薄的样品；图像有很强的立体感；能利用电子束与物质相互作用而产生的次级电子、吸收电子和X射线等信息分析物质成分。 扫描式电子显微镜的电子枪和聚光镜与透射式电子显微镜的大致相同，但是为了使电子束更细，在聚光镜下又增加了物镜和消像散器，在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。 场发射扫描电子显微镜（FESEM）是一种比较简单的扫描电子显微镜，它观察样本上因强电场导致的场发射所散发出来的电子。假如观察的是透过样本的扫描电子的话，那么这种显微镜被称为扫描透射电子显微镜（Scanning Transmission Electron Microscopy，STEM）。 标配能谱仪（EDS）和波谱仪（WDS）接口，领先的 X 射线几何条件对所 有样品提供了最精确的分析。对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。可选择 LaB6 高亮度光源，在与 X 射线分析相适应的探针 电流的性能上提高到一个新 的水平。在 8.5 mm 的分析工作距离，EVO? 18 能够处理的 样品可达 250 mm 直径和 145mm 高。此外，共面的设计为 EBSD 与 EDS 的联合使用提 供了理想的几何条件。无论何时对于你的材料分析的挑战，EVO? 18 都能使你的 样品清晰可见。 ● 配备 X 射线能谱仪并具有领先的 X 射线分析几何条件 ● 使用可变压力工作模式进行 样品的电荷中和 ● 大的样品台移动范围 ● 电子束衬管用于增强成像与 分析 ● 用可选的 LaB6 电子源进行高性能成像 3.2 扫描电子显微镜的成像原理 扫描电子显微镜是一种大型分析仪器，它广泛应用于观察各种固 态物质的表面超微结构的形态和组成。所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的，只是在结构和部件上稍有差异而已。在电子扫描中，把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或 称作水平扫描，把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作 垂直扫描。两者的扫描速度完全不同，行扫描的速度比帧扫描的速度 快，对于1000 条线的扫描图象来说，速度比为1000。电子显微镜的工作是进入微观世界的工作。我们平常所说的微乎其微或微不足道的东西，在微观世界中，这个微也就不称其微，我们提出用纳米作为显微技术中的常用度量单位，及1nm=10-6mm。扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处，而与透射电镜的成像原理完全不同。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像，而扫描电镜的成像则不需要成象透镜，其图象是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用最广泛，分辨本领最高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。由电子枪发射的电子束最高可达30keV，经会聚透镜、物镜缩小和聚焦，在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下，入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用，将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用，可将各个方向发射的二级电子汇集起来， 再将加速极加速射到闪烁体上，转变成光信号，经过光导管到达光电倍增管，使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极，调制显像管的亮度。因而，再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。在扫描电镜中，入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫