超精密空气主轴回转精度的测量与数据处理.docVIP

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2017-06-07 发布于重庆
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超精密空气主轴回转精度的测量与数据处理

　　　　，　　，——主轴径向回转精度要求达到小于0.1μm。这样高精度的指标，，，（0.07μm）　　1 检测　　1.1 检测条件　　20±1℃ 每小时变化：0.1℃ 　　30%~60% 　　24h；　　0.2℃；　　0.4±0.02MPaq 　　1.2 检测用仪器和器具　　① TESA0.01μm），　　②μm（）　　1.3 检测方法　　1所示。　　　　1 测量装置　　，，，，，0.5μm左右。第一步，，，10°，θi=0°，10°，20°~350°，3~5圈，取平均值X1（θi）180°，即进行了反向，反向后球的偏心会有变化，重新调整偏心后测量3~5圈，取平均值为反向后读数X2（θi），90°方向开始测量，重复上述测量步骤，测量过程如图2所示。得Yi（θi）180°，即从90°转到270°。得Y2（θi）　　　　2 测量过程　　2 数据处理　　2.1 反向前后读数相减除2 　　　　　　2.2 　　　　　　　　　　　　　　　　，　　ΔVxi=Vxi-[axjcos（θi）+bxjsin（θi）] 　　ΔVyi=Vyi-[ayjcos（θi）+byjsin（θi）] 　　2.3 XY向轴系误差合成　　　　ΔVimax为最大回转误差。　　3 测量精度分析　　3.1 用双向测量法保留轴系一次直线谐和运动的消偏　　90°位置安装，从X与Y两个互相垂直的分量中来观察和判别，　　3.2 用平均值法减小偶然误差的影响　　3~5圈，　　3.3 　　，　　3.4 EST、消除标准球不圆度的影响　　，，，，，，，，（）（），，，0.057μm，0.05μm，，，　　4 测量结果　　3。经过多次测量，0.07μm。　　　　3 测量结果　　5 注意事项　　① ，，，3~1.5μm时，测得轴系回转精度为0.25μm。当偏心量调到1.5~1μm时，测得轴系回转精度为0.17μm。　　1~0.5μm时，测得轴系回转精度为0.07μm。所以对于高精度轴系的测试，0.5μm。　　② 　　③ 　　