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纳米结构TiO2敏感膜修饰的QCM检测环境污染物 摘要：气敏传感器在环境保护与监测、工业生产、国防与公共安全等领域具有十分广泛的应用前景。随着人们生活水平的提高，开发具有高灵敏度和稳定性、低功耗、易与电子系统相连、携带方便、可在室温操作的气敏传感器更具有重要的现实意义。 本文在比较不同结构TiO2修饰的QCM气敏传感器的实际检测效果，论述了纳米结构TiO2修饰的QCM气敏传感器在环境污染物检测中的独特优势。 关键字：石英晶体微天平，二氧化钛，纳米结构，污染物，检测 QCM based on a sensitive film of titanium dioxide detect environmental pollutants Abstract：Gas sensors are broadly applied in many fields such as environmental monitoring，industry，national defense and public safety，which have demonstrated a bright future.Along with the improvement of people’s life，it is of great practical importance to develop gas sensors which are sensitive，stable，low power，compatible with electronic devices，portable at room temperature. Actual testing results of different structure of TiO2 modified QCM gas sensors are compared in this article.It confirmed the unique advantages of nanostructured TiO2 modified QCM gas sensors in environmental pollution detection. Keywords:quartz crystal microbalance，TiO2，nanostructure，contaminants，detection 1.引言 气敏传感器是利用物理或化学效应把气体的成分和浓度信息，通过转换元件转换成电信号的一类传感器，是现代传感器技术领域最受人瞩目的一个分支[l2]。现代气敏传感器技术由于对气体检测的方便、实时、快捷等优势得到快速发展。它结合了新兴材料科学、半导体工艺及智能检测方法等领域内的研究成果，向着集成化、智能化方向发展，已经成为现代传感器技术领域的研究热点。本文通过比较不同结构TiO2修饰的QCM气敏传感器对环境污染物检测的实际效果，论述了由纳米结构的TiO2涂层的QCM具有普通材料涂层的QCM无法比及的敏感性、选择性、稳定性等独特优势。 2.纳米结构TiO2敏感膜修饰的QCM气敏传感器 2.1QCM工作原理 石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance，QCM)原理自问世以来，以其具有的结构简单、成本低廉、振动Q值大、灵敏度高、质量测量精度可达纳克级等诸多优势，在物理、化学、生物、医学等领域里得到了广泛的应用，尤其以微质量的测量，气体液体的浓度成分分析和表面科学薄膜检测为典型代表[3，4]。近期内免疫传感器、DNA传感器等生物传感器的发展，进一步拓宽了QCM技术的应用范围，向人们展示了这一分析工具的强大功能和广阔前景.实际应用中的QCM元件由AT切型石英晶体圆盘及其上下表面所镀的圆形金属电极组成，结构示意图如图1所示。 图1 QCM的结构 2.2具有纳米结构TiO2的制备 用水热合成法(Hydrothermal method)制备具有纳米结构的二氧化钛。方法如下:称取1克二氧化钛粉末，与 60mL10M的Na0H溶液混合，并在超声振荡器中混合均匀;然后，混合溶液转移到涂覆有Teflon高压蒸气灭菌器中，密封后，用水热法加热到150到170摄氏度，持续30小时。当高压蒸气灭菌器冷却到室温后，得到的产物先用1M的稀盐酸中和，再用去离子水和乙醇反复清洗多次。最后在70摄氏度下烘干6小时就得到了具有纳米结构的二氧化钛。 2.3QCM气敏传感器的制备 由于石英晶体本身对各种气体并不具有选择性，故需要在晶体表面修饰具有一定选择性的敏感物质才能制得所需的QCM气敏传感器。一般实验中采用的石英晶体是由商用的AT切型6MHz石英晶振拆除外壳封装后得到，拆卸后便用去离子水和乙醇反复清洗多次然后晾干。由节制得的二氧化钛加入去离子水中制得溶液，